方新心
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 非接触式电导法实现PCR反应过程的实时检测系统和方法
- 本发明涉及非接触式电导法实现PCR过程的实时检测系统和方法，其特征在于所述系统包括基于MEMS集成的PCR微芯片、交流激励电源、电流转电压及放大电路、温度传感电路、加热电路、数模/模数转换接口DAQ及上位的Labview...
- 金庆辉方新心景奉香张洹千赵建龙
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- 文献传递
- 硅基石墨烯场效应管关键工艺研究被引量：1
- 2013年
- 石墨烯由于其独特的电学特性受到关注,工艺的研究促使石墨烯材料的实际应用。着重于石墨烯场效应管关键工艺(目标衬底的预处理、石墨烯的转移、金属沉积、石墨烯刻蚀与退火)的优化。通过实验发现,衬底上硅醇基的密度以及碳氢化合物分子的大小对器件的性能有很大的影响;与热蒸发方式相比,溅射会对石墨烯引入更多的缺陷,降低器件性能;金属上石墨烯的接触电阻率为1.1×104Ω·μm,而金属下石墨烯的电阻率为2.4×105Ω·μm;应用射频和微波等离子体系统对石墨烯进行刻蚀,微波等离子体会造成石墨烯上的光刻胶碳化,使得光刻胶很难用丙酮去除;器件制备完成后,样品需要在(H2/Ar)还原性气氛中退火,以除去吸附在石墨烯表面的杂质,提高器件的性能。
- 张凤方新心成霁唐逢杰金庆辉赵建龙
- 关键词：石墨烯溅射热蒸发等离子体刻蚀
