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范志荣
作品数:
3
被引量:8
H指数:1
供职机构:
上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心
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发文基金:
“九五”国家科技攻关计划
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相关领域:
机械工程
金属学及工艺
电子电信
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合作作者
张卫平
上海交通大学微纳米科学技术研究...
陈文元
上海交通大学微纳米科学技术研究...
徐正福
上海交通大学微纳米科学技术研究...
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2000
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LIGA技术制造微齿轮中X光掩模板图形的CAD设计
被引量:1
2000年
介绍了用LIGA技术研制用于微行星齿轮减速器的微齿轮过程中 ,X光掩模板图形的CAD设计。它包括微齿轮的建模和图形的生成 ,微齿轮图形的分割及图形的拟合。
陈文元
张卫平
周迪
范志荣
关键词:
LIGA技术
微齿轮
CAD
MEMS
模数0.03的微行星齿轮减速器的研究
微减速器与微马达相配,可以提高微马达的输出力矩,拓展微马达的应用场合.本文介绍了用LiGA技术制造模数0.03微齿轮,并用显微装配技术集成直径2mm、减速比44.2的微行星齿轮减速器,并与直径2mm电磁型微马达组成微驱动...
陈文元
国家教委薄膜与微细技术开放实验室(上海)
张卫平
范志荣
徐正福
关键词:
微电子机械系统
微马达
掩模板
微齿轮
文献传递
微3K-2型行星齿轮减速器中微齿轮啮合模型和参数计算
被引量:7
2000年
提出了微3K-2型行星齿轮减速器设计中,模数小于0.08的微齿轮传动啮合模型和参数计算公式.并对模数分别为0.08、0.06、0.04、0.03,太阳轮、行星轮、固定内齿轮、旋转内齿轮齿数分别为15、11、36、39的微齿轮进行了参数计算和比较.根据计算结果完成了模数0.06的微3K-2型行星齿轮减速器的研制.该减速器与电磁型微电动机相配,可降低微电动机的转速、减小微电动机的惯量。
陈文元
张卫平
范志荣
关键词:
行星齿轮减速器
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