徐正福
- 作品数：9 被引量：20H指数：3
- 供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金“九五”国家科技攻关计划更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 动态被动阀微泵的研究
- 该文研究的动态被动阀微泵是一种振膜型微泵,由于其不具有阀门结构,相对于以往的微泵而言有更高的工作频率和可靠性,而且结构简单,加工制造的成本比较低,更容易满足实际应用中的各种要求.该文首先讨论了动态被动阀的工作机理,在具有...
- 徐正福
- 关键词：微机电系统微泵有限元微加工
- 文献传递
- 动态被动阀微泵的研究
- 介绍了动态被动阀微泵的工作原理及其特点,在研究中利用有限元方法及相关工具对其结构进行分析设计,在加工工艺中提出了二次腐蚀工艺技术,简化和改进了工艺过程,并对这些方法与技术中相关的问题进行了研究和讨论.
- 徐正福陈文元张卫平陈晓梅
- 关键词：微泵微细加工微机械电子系统有限元方法
- 文献传递
- LIGA技术中微复制工艺的研究
- LIGA技术包括同步辐射X光深层光刻、微电铸、微复制3个部分.它能够加工高深宽比的微结构,侧壁陡峭,表面平整.微复制可实现大规模高深宽比三维微结构加工,所用塑料价格低廉、品种繁多,在光学、医学都可有广泛使用.文章作者在H...
- 张卫平陈文元陈迪陈晓梅吴校生徐正福
- 关键词：LIGA
- 文献传递
- 多协议标记交换(MPLS)中的QoS被引量：1
- 2001年
- 介绍了IPQoS的基本概念和解决方法,阐述了在MPLS中实现QoS的多种途径及其特点,讨论了各种技术的优缺点及发展应用前景。
- 徐正福陈文元张卫平
- 关键词：多协议标记交换服务质量通信网
- 模数≤0.06mm的微行星齿轮减速器的CAD/CAM技术
- 2000年
- 微机电系统 (MEMS)是近年来兴起的一门新兴技术 ,微行星齿轮减速器是微机电系统中的重要器件。在模数≤ 0 .0 6mm的微行星齿轮减速器的研制中 ,引入CAD/CAM技术 。
- 张卫平陈文元范志荣徐正福
- 关键词：CADCAM
- 模数0.03的微行星齿轮减速器的研究
- 微减速器与微马达相配,可以提高微马达的输出力矩,拓展微马达的应用场合.本文介绍了用LiGA技术制造模数0.03微齿轮,并用显微装配技术集成直径2mm、减速比44.2的微行星齿轮减速器,并与直径2mm电磁型微马达组成微驱动...
- 陈文元国家教委薄膜与微细技术开放实验室(上海)张卫平范志荣徐正福
- 关键词：微电子机械系统微马达掩模板微齿轮
- 文献传递
- 基于多协议标记交换的虚拟专用网被引量：4
- 2001年
- 介绍了 IP VPN的基本概念和主要技术 ,阐述了基于 MPLS技术实现 VPN的优势、原理和方法 ,并讨论了 MPLS VPN中复用、安全。
- 徐正福陈文元张卫平
- 关键词：多协议标记交换虚拟专用网通信网因特网
- 基于LIGA技术的3K-2型微行星齿轮减速器的设计和制造被引量：9
- 2003年
- 使用同步辐射光和 X射线掩模板的 L IGA技术能够制造大深宽比的三维微结构。详细讨论了基于该技术的微行星齿轮减速器的设计和制造 ,包括微行星齿轮减速器的设计、微齿轮 X射线掩模板的 CAD技术、X射线深层光刻、微齿轮的微电铸和微复制 ,以及微行星齿轮减速器的微装配。目前已经得到了金属镍的厚度为 40 0μm的太阳轮、行星轮 ,厚度为 2 0 0μm的固定内齿轮、旋转内齿轮 ,其齿数分别为 1 5、1 1、3 6、3 9。用这些微齿轮装配成了一台模数为 0 .0 3 mm、减速比为 44.2、最大外径为 2 mm的微行星齿轮减速器 ,并将其成功地应用在直径为 2 mm的电磁型微马达上。
- 张卫平陈文元陈迪吴校生陈晓梅徐正福
- 关键词：微齿轮LIGA电磁型微马达
- 动态被动阀微泵的设计优化和制造被引量：5
- 2003年
- 研究的动态被动阀微泵是一种基于微机械技术的振膜型无阀微泵。相对于有阀微泵而言 ,有更高的工作频率和可靠性 ,结构简单 ,加工制造的成本比较低 ,更容易满足实际应用中的各种要求。讨论了动态被动阀的工作机理 ,结合流体力学的基本理论与动态被动阀微泵的特点 ,采用有限单元方法以及相关工具软件ANSYS/FLOTRAN ,对整个动态被动阀微泵模型进行了计算、求解和模拟 ,并根据计算结果及加工工艺特点对其结构进行优化。用基于集成电路制造技术的微细加工工艺分别对动态被动阀微泵的各组成部分进行加工 。
- 张卫平陈文元吴校生陈晓梅徐正福
- 关键词：优化设计微机械技术
