陈晓梅
- 作品数：7 被引量：17H指数：2
- 供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术核科学技术更多>>
- LIGA技术中微复制工艺的研究
- LIGA技术包括同步辐射X光深层光刻、微电铸、微复制3个部分.它能够加工高深宽比的微结构,侧壁陡峭,表面平整.微复制可实现大规模高深宽比三维微结构加工,所用塑料价格低廉、品种繁多,在光学、医学都可有广泛使用.文章作者在H...
- 张卫平陈文元陈迪陈晓梅吴校生徐正福
- 关键词：LIGA
- 文献传递
- 柔性膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺被引量：2
- 2005年
- 主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由 Parylene 振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。对平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变进行了分析,并对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片上电镀驱动线圈,在 Parylene 薄膜上电镀 NiFe 合金阵列,采用牺牲层工艺得到振动膜的悬空结构。
- 苏宇锋陈文元陈晓梅张卫平王伟
- 关键词：PARYLENE
- 悬浮转子式微陀螺的研究
- 利用二组数个独特的平面线圈产生的电磁感应力和静电驱动力,能使微小转子浮起与稳定,并借助于移相电路使转子转动,加上集成在二组平面线圈之间的4个电容传感电极构成了悬浮转子二自由度微陀螺.本文作者阐述了该微陀螺的原理、构成及难...
- 陈文元吴校生张卫平赵小林陈晓梅
- 关键词：静电力微陀螺微加工
- 文献传递
- 基于LIGA技术的3K-2型微行星齿轮减速器的设计和制造被引量：9
- 2003年
- 使用同步辐射光和 X射线掩模板的 L IGA技术能够制造大深宽比的三维微结构。详细讨论了基于该技术的微行星齿轮减速器的设计和制造 ,包括微行星齿轮减速器的设计、微齿轮 X射线掩模板的 CAD技术、X射线深层光刻、微齿轮的微电铸和微复制 ,以及微行星齿轮减速器的微装配。目前已经得到了金属镍的厚度为 40 0μm的太阳轮、行星轮 ,厚度为 2 0 0μm的固定内齿轮、旋转内齿轮 ,其齿数分别为 1 5、1 1、3 6、3 9。用这些微齿轮装配成了一台模数为 0 .0 3 mm、减速比为 44.2、最大外径为 2 mm的微行星齿轮减速器 ,并将其成功地应用在直径为 2 mm的电磁型微马达上。
- 张卫平陈文元陈迪吴校生陈晓梅徐正福
- 关键词：微齿轮LIGA电磁型微马达
- 动态被动阀微泵的研究
- 介绍了动态被动阀微泵的工作原理及其特点,在研究中利用有限元方法及相关工具对其结构进行分析设计,在加工工艺中提出了二次腐蚀工艺技术,简化和改进了工艺过程,并对这些方法与技术中相关的问题进行了研究和讨论.
- 徐正福陈文元张卫平陈晓梅
- 关键词：微泵微细加工微机械电子系统有限元方法
- 文献传递
- 生物大分子晶体学光束线准直镜、聚焦镜系统的设计被引量：1
- 2002年
- 同步辐射是生物大分子研究中所使用的重要方法 ,本文讨论的准直镜和聚焦镜系统是生物大分子光束线中的重要装置 ,其作用是改变X射线的方向并使其聚焦。生物大分子试验对准直、聚焦系统提出了特殊的要求。为此 ,本文使用了有限元的方法 ,对镜体表面各处在不同工况下的曲率半径进行了模拟。在此基础上设计了一种带有平衡系统的压弯系统。对于有限空间下能自锁的姿态调整系统、支撑系统、水冷系统、镜箱系统也作了讨论。
- 张卫平陈文元吴校生陈晓梅盛伟繁刘鹏胡天斗
- 关键词：生物大分子晶体学准直有限元
- 动态被动阀微泵的设计优化和制造被引量：5
- 2003年
- 研究的动态被动阀微泵是一种基于微机械技术的振膜型无阀微泵。相对于有阀微泵而言 ,有更高的工作频率和可靠性 ,结构简单 ,加工制造的成本比较低 ,更容易满足实际应用中的各种要求。讨论了动态被动阀的工作机理 ,结合流体力学的基本理论与动态被动阀微泵的特点 ,采用有限单元方法以及相关工具软件ANSYS/FLOTRAN ,对整个动态被动阀微泵模型进行了计算、求解和模拟 ,并根据计算结果及加工工艺特点对其结构进行优化。用基于集成电路制造技术的微细加工工艺分别对动态被动阀微泵的各组成部分进行加工 。
- 张卫平陈文元吴校生陈晓梅徐正福
- 关键词：优化设计微机械技术
