江勤
- 作品数：4 被引量：2H指数：1
- 供职机构：华中科技大学光学与电子信息学院电子科学与技术系更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术电气工程电子电信更多>>
- 非制冷红外探测器用热释电材料的研究进展被引量：1
- 2006年
- 分析了热释电非制冷红外探测技术的优势,介绍了当前应用较广泛的各种非制冷红外探测器用热释电材料,即单晶材料、高分子有机聚合物及复合材料和金属氧化物陶瓷及薄膜材料,并预计了热释电材料的发展趋势。指出了铁电性热释电陶瓷材料的优越性,其应用分为正常热释电体、介电测辐射热型热释电体和弥散相变热释电体,并分别列出了具有代表性材料的研究结果。最后,指出了研究高性能、大尺寸、易加工的热释电薄膜材料的制备技术,是未来红外探测器用热释电材料的发展的关键;并在此基础上结合半导体集成工艺,制备高性能、大规模的热释电红外焦平面阵列。
- 江勤姜胜林张海波杨智兵钟南海
- 关键词：非制冷红外探测器热释电铁电
- UFPA器件微桥腐蚀工艺的研究被引量：1
- 2007年
- 利用硅单晶的各向异性腐蚀技术,研究了UFPA探测器的微桥腐蚀工艺.采用独特的腐蚀装置在厚度为300μm的硅基片上成功地制备了腐蚀坑深度为260μm,桥面宽度为2 mm的微桥结构.该装置能有效保护硅基片正面免受腐蚀液的漏蚀,从而可实施热释电薄膜的沉积先于微桥制备的技术线路,对提高器件的成品率具有重要的意义.
- 姜胜林江勤陈实刘梅冬
- 关键词：非制冷红外焦平面阵列各向异性腐蚀
- 非制冷红外探测器用热释电材料的研究进展
- 分析了热释电非制冷红外探测技术的优势,介绍了当前应用较广泛的各种非制冷红外探测器用热释电材料,即单晶材料、高分子有机聚合物及复合材料和金属氧化物陶瓷及薄膜材料,并预计了热释电材料的发展趋势.指出了铁电性热释电陶瓷材料的优...
- 江勤姜胜林张海波杨智兵钟南海
- 关键词：非制冷红外探测器铁电材料弥散相变
- 文献传递
- 热释电红外敏感元阵列的研制
- 热释电红外探测器与其它类型的红外探测器相比有许多突出的优点,成为当前的研究热点。本文围绕热释电薄、厚膜红外敏感元阵列的制备展开,采用溶胶-凝胶/(Sol-Gel/)技术制备了PLT热释电薄膜,设计并制备了PLT热释电薄膜...
- 江勤
- 关键词：红外探测器热释电性流延厚膜
- 文献传递
