陈实
- 作品数:19 被引量:70H指数:6
- 供职机构:华中科技大学光学与电子信息学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域:一般工业技术电子电信电气工程自动化与计算机技术更多>>
- 铁电薄膜热释电非致冷红外传感器研究被引量:11
- 2004年
- 阐述了铁电薄膜热释电非致冷红外传感器的工作原理,对铁电薄膜材料的要求及sol gel铁电薄膜电性能。研究了BST铁电薄膜红外传感器的制备工艺与测试方法。研制出单元和8元、9元、10元线列铁电薄膜热释电非致冷红外传感器。
- 刘梅冬陈实李元昕曾亦可姜胜林邓传益刘少波
- 关键词:铁电薄膜铁电材料
- 热释电红外探测器硅微桥制备工艺的研究
- 结合薄膜热释电红外探测器灵敏元的制备,对硅单晶的各向异性腐蚀工艺及其化学反应机理进行了深入研究.实验结果表明,四甲基氢氧化铵水溶液(TMAH)是一种适宜的硅单晶各向异性腐蚀液,其浓度和温度的选择对各向异性腐蚀的腐蚀速率和...
- 陈实刘梅冬曾亦可姜胜林邓传益孙德宝
- 关键词:热释电红外探测器各向异性腐蚀四甲基氢氧化铵
- 文献传递
- TMR与GMR传感器1/f噪声的研究进展被引量:11
- 2012年
- 隧道结磁阻(TMR)传感器及巨磁阻(GMR)传感器的1/f噪声在低频段噪声功率密度较大,是影响其低频下分辨率和灵敏度的主要噪声形式.本文详细介绍了近年来TMR传感器及GMR传感器1/f噪声的特点、来源、理论模型、检测方法及降噪措施等方面的研究进展,并就隧道结磁阻传感器1/f噪声的物理模型进行了详细解释.通过纳米模拟软件Virtual NanoLab对不同MgO厚度的Fe/MgO/Fe型磁性隧道结(MTJ)进行了隧穿概率和TMR变化率的模拟计算,得到保守估计与乐观估计的TMR变化率,分别为98.1%与10324.55%,同时通过MTJ的噪声模型分析了MgO厚度对TMR传感器噪声的影响.制备了磁屏蔽系数大于10000的磁屏蔽筒并搭建了磁阻传感器1/f噪声的测试平台,通过测试验证了磁屏蔽系统对环境磁场具有较好的屏蔽效果,为噪声检测提供了稳定的磁场空间.最后分析了TMR与GMR中各种因素对传感器噪声的影响,提出了影响MTJ传感器1/f噪声的因素及一些降噪措施.
- 吴少兵陈实李海杨晓非
- 关键词:隧道结
- 环形磁通门的非线性误差及补偿技术被引量:8
- 2013年
- 磁通门技术被广泛应用于低频微弱磁场领域,尤其是地磁场的测量。地磁的精确测量要求磁力仪具有极小的误差,目前国内外关于磁通门误差的补偿研究主要针对于比例因子误差、零偏和非正交误差,对非线性误差的研究比较少。利用软磁材料的磁化曲线函数可由多项式拟合的特性,建立了环形磁通门传感器的非线性误差模型,并提出了非线性误差补偿方法。通过实验对一维环形磁通门传感器的非线性误差进行矢量补偿,取得了显著效果。
- 韩维维杨晓非欧阳君陈实
- 关键词:数学建模
- AlN/FeCoSiB磁电复合薄膜的制备及其逆磁电效应研究
- 2013年
- 借助射频磁控溅射成功制备了AlN/FeCoSiB磁电复合薄膜,探讨了退火条件对AlN薄膜压电性能和FeCoSiB薄膜磁性能的影响,并研究了其逆磁电响应。结果显示,500℃退火处理的AlN薄膜具有高度(002)择优取向和柱状生长结构;经过300℃退火后FeCoSiB薄膜的磁场灵敏度提高。该磁电复合薄膜的逆磁电电压系数(αCME)在偏置磁场(Hdc)为875 A/m时达到最大值62.5 A/(m·V);且磁感应强度(B)随交变电压(Vac)的变化呈现优异的线性响应(线性度达到1.3%)。这种AlN/FeCoSiB磁电复合薄膜在磁场或电场探测领域具有广阔的应用前景。
- 童贝杨晓非林更琪陈实欧阳君
- 关键词:射频磁控溅射退火
- 航磁矢量测量的误差分析和补偿算法研究被引量:7
- 2021年
- 由机载平台引起的干扰场是航磁测量的主要误差来源之一,为提高地磁矢量的航空测量精度,设计了一种基于分量约束的矢量航磁补偿算法,建立了包含固定、感应和涡流磁干扰的补偿模型。通过引入惯性传感器获得的载体姿态信息,将补偿系数求解问题线性化,并采用最小二乘法进行了参数求解。仿真结果表明,算法可准确估计补偿系数,并将磁场矢量的均方根误差减小至3 nT以内。使用直升机航磁测量系统进行了飞行验证试验,补偿后总场的均方根误差从716.97降低至14.27 nT,三分量的均方根误差分别从422.86、240.68、676.21 nT降低至54.21、52.34、38.61 nT,结果表明,该算法可显著提高航磁矢量的动态测量精度。
- 缪林良米洒洒王玮琳金照南杨志豪欧阳君杨晓非陈实
- 用改进的Sol-Gel方法制备PZT铁电薄膜的化学反应历程
- 2004年
- 通过傅立叶红外吸收光谱(FTIR)、1H和13C核磁共振波谱(NMR)对制备PZT铁电薄膜的Sol-Gel化学反应过程进行了分析.结果表明,采用硝酸氧锆(ZrO(NO3)2·2H2O)为锆源并使用单一溶剂制备PZT铁电薄膜,溶胶-凝胶化过程中化学反应相对简单,多组分系统稳定性较高,工艺条件易于控制,所制备的Pb(Zr0.53Ti0.47)O3铁电薄膜致密性好,晶粒尺寸小且分布均匀.
- 陈实姜胜林曾亦可邓传益刘梅冬
- 关键词:PZT铁电薄膜化学反应过程
- 面向机载地磁测量的磁干扰补偿技术被引量:2
- 2012年
- 针对机载地磁测量易受发动机干扰的问题,提出将干扰分为动态、静态2种情况处理。首先进行静态补偿,然后针对匀速运动的机载地磁测量,提出了等效电流补偿方法,最后引入卡尔曼数字滤波,消除发动机动态运转产生的高频磁干扰。上述方法能在电机的运行过程中测量出相对实时的、准确的地磁值,减小了电机的磁场干扰,具有很强的实用价值。
- 王一凡欧阳君杨晓非陈实张悦
- 关键词:地磁测量机载卡尔曼滤波
- 纯氧高气压溅射PZT铁电薄膜被引量:1
- 2005年
- 用Pb(Zr0.55Ti0.45)O3烧结陶瓷作为靶材,在纯氧、高气压溅射条件下成功地原位沉积了锆钛酸铅(leadzirconatetitanate,PZT)铁电 薄膜。为了弥补靶材在烧结过程中Pb的挥发及溅射成膜过程中发生Pb的损失,以PbO计,加入了质量分数为5.0%的过量Pb3O4。实验发 现:当最佳靶基片距离一定时,n(Pb)/n(Zr+Ti)成份偏析的比例随最佳靶基片距离偏差的增加而降低。PZT铁电薄膜的X射线衍射分析 表明,PZT铁电薄膜中存在PbO和钛锆固溶型氧化物,但无焦绿石相。PZT铁电薄膜的铁电性测量表明:剩余极化Pr达到14.1μc/cm2,矫顽 电场Ec较小,Ec与Pb(Zr0.55Ti0.45)O3烧结陶瓷靶材的值相当,其电滞回线具有很好的对称性。
- 曾亦可姜胜林邓传益陈实刘梅冬
- 关键词:锆钛酸铅铁电薄膜溅射电滞回线电流-电压特性
- UFPA器件微桥腐蚀工艺的研究被引量:1
- 2007年
- 利用硅单晶的各向异性腐蚀技术,研究了UFPA探测器的微桥腐蚀工艺.采用独特的腐蚀装置在厚度为300μm的硅基片上成功地制备了腐蚀坑深度为260μm,桥面宽度为2 mm的微桥结构.该装置能有效保护硅基片正面免受腐蚀液的漏蚀,从而可实施热释电薄膜的沉积先于微桥制备的技术线路,对提高器件的成品率具有重要的意义.
- 姜胜林江勤陈实刘梅冬
- 关键词:非制冷红外焦平面阵列各向异性腐蚀