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郜晨希

作品数：29 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学一般工业技术水利工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 29篇中文专利

领域

  • 5篇自动化与计算...
  • 1篇化学工程
  • 1篇水利工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学

主题

  • 12篇感器
  • 12篇传感
  • 12篇传感器
  • 9篇电极
  • 7篇金属
  • 6篇压力传感器
  • 6篇真空规
  • 6篇力传感器
  • 5篇膜片
  • 4篇阵列
  • 4篇容差
  • 4篇气体
  • 4篇线阵列
  • 4篇纳米
  • 4篇纳米线
  • 4篇纳米线阵列
  • 4篇金属电极
  • 3篇电容
  • 3篇电容传感器
  • 3篇腔体

机构

  • 29篇中国科学院微...
  • 1篇川北真空科技...

作者

  • 29篇郜晨希
  • 24篇李超波
  • 8篇解婧
  • 5篇孙小孟
  • 4篇刘金虎
  • 2篇杨进
  • 1篇夏洋
  • 1篇胡冬冬

年份

  • 7篇2024
  • 1篇2023
  • 3篇2022
  • 4篇2021
  • 10篇2020
  • 3篇2019
  • 1篇2016
共 29 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于电压时间转换的电容式压力检测装置、方法及传感器
本发明提供了一种基于电压时间转换的电容式压力检测装置、方法及传感器。所述装置包括：电容组件、与所述电容组件连接的充电控制模块和放电控制模块、与所述放电控制模块和所述电容组件连接的计数模块、以及输出模块；其中，所述电容组件...
郑旭林琳远雁郜晨希王迪刘瑞琪李超波
文献传递
一种抑制沉积管及压力检测装置
本申请实施例涉及一种抑制沉积管及压力检测装置，抑制沉积管包括：管道主体，具有进气口、出气口和气流通道，进气口和出气口位于气流通道的两端；多条分隔壁，多条分隔壁间隔设置于气流通道内，以将管道主体分隔为多条独立通道，多条独立...
林琳郜晨希刘瑞琪郑旭邢建鹏远雁
检测膜片式真空压力计沉积物的方法
本公开提供一种检测膜片式真空压力计沉积物的方法，包括：步骤S1：将沉积物在预处理腔内进行激发，使沉积物成为气体状态；步骤S2：气体状态的沉积物通过减压装置减压后，输入与减压装置相连的分析腔室；以及步骤S3：在分析腔室内对...
王迪林琳郜晨希刘瑞琪远雁郑旭李超波
文献传递
利用全反射原理提高测量精度的压力传感器及其应用
本发明提供了一种利用全反射原理提高测量精度的压力传感器及其应用，所述压力传感器包括：底部设置开口的壳体、固定于所述壳体内腔中的弹性膜片、入射激光生成组件、以及反射激光探测组件；所述弹性膜片的尺寸与所述壳体内腔的尺寸相配合...
林琳刘瑞琪王迪郜晨希郑旭远雁李超波
文献传递
一种纳米线压力传感器制备方法
本发明实施例提供的一种纳米线压力传感器制备方法，所述方法包括：获取有机材料基底；根据需要获取的纳米线阵列结构，在所述基底上制备凹槽阵列；在所述凹槽阵列中填充导电材料，形成纳米线阵列；其中，所述纳米线阵列中包含多个纳米线单...
解婧李超波邢建鹏林琳刘金虎刘瑞琪郜晨希
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一种纳米线压力传感器制备方法
本发明实施例提供的一种纳米线压力传感器制备方法，所述方法包括：获取有机材料基底；根据需要获取的纳米线阵列结构，在所述基底上制备凹槽阵列；在所述凹槽阵列中填充导电材料，形成纳米线阵列；其中，所述纳米线阵列中包含多个纳米线单...
解婧李超波邢建鹏林琳刘金虎刘瑞琪郜晨希
一种纳米线压力传感器及传感器阵列
本发明实施例提供的一种纳米线压力传感器及传感器阵列，包括：基底、纳米线阵列以及至少两个金属电极，所述金属电极和所述纳米线阵列均位于所述基底的同一面；所述纳米线阵列分布在所述金属电极之间，所述纳米线阵列含有两个以上的纳米线...
解婧李超波邢建鹏林琳王欢郜晨希郑旭
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一种基于金属微观结构的精密模具
本发明实施例提供的一种基于金属微观结构的精密模具，包括：衬底；牺牲层，所述牺牲层附着于所述衬底上；结构层，所述结构层嵌于所述牺牲层内，且所述结构层的底面位于所述牺牲层内部；三维结构内部腔体，所述三维结构内部腔体位于所述结...
解婧王欢郜晨希邢建鹏李超波
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一种薄膜式电容传感器
一种薄膜式电容传感器，包括陶瓷定电极、定电极连接环、外壳、外壳上盖、压紧环、调节环和膜片动电极，其中：陶瓷定电极作为电容极板，与膜片动电极组成可变电容，用于检测和输出被测环境压力变化；定电极连接环用于连接陶瓷定电极和薄膜...
郜晨希王迪林琳刘瑞琪郑旭远雁李超波
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一种防沉积匀气环
一种防沉积匀气环，该防沉积匀气环由圆周阵列的倾斜扭制的匀气环叶片堆叠而成，位于电容传感器支撑环上，用于阻止污染物沉积到传感器薄膜上。本发明提供的防沉积匀气环包括上下两层，该上下两层的匀气环叶片交替排列，从轴向可有效阻挡污...
郜晨希林琳张心强王迪刘瑞琪郑旭远雁李超波靳毅陈林
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