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杨进

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文专利

领域

  • 1篇文化科学

主题

  • 3篇旋涂
  • 2篇等离子刻蚀
  • 2篇电容
  • 2篇镀银
  • 2篇整机
  • 2篇托盘
  • 2篇匹配器
  • 2篇匹配性
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇漏气
  • 2篇密封
  • 2篇密封性
  • 2篇刻蚀
  • 2篇畅通
  • 1篇电流
  • 1篇淀积
  • 1篇大电流

机构

  • 5篇中国科学院微...

作者

  • 5篇杨进
  • 2篇夏洋
  • 2篇刘金虎
  • 2篇李勇滔
  • 2篇郜晨希
  • 2篇徐维江
  • 1篇解婧

年份

  • 2篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2016
  • 1篇2013
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种用于匹配器设备的空气电容结构
本发明涉及等离子刻蚀、淀积设备技术领域，具体涉及一种用于匹配器设备的空气电容结构。所述空气电容结构，包括电容片和连接所述电容片的连接杆，所述连接杆上固定设有连接柱，所述连接柱将镀银线圈与所述连接杆连接。本发明通过在空气电...
杨进徐维江李勇滔夏洋
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薄膜旋涂设备
1.本外观设计产品的名称：薄膜旋涂设备。;2.本外观设计产品的用途：该外观设计产品用于纳米级高精度涂胶样品的制作。;3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。;4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。;5.主视图和立体图...
杨进解婧
一种旋涂装置
本发明公开了一种旋涂装置，属于表面涂覆技术领域，通过电机，所述电机具有一竖直方向上设置的转动轴；样片托盘，所述样片托盘位于所述转动轴的顶端；转盘，所述转盘设置在所述样片托盘的下方，且所述转盘与所述样片托盘之间具有第一预设...
杨进郜晨希刘金虎
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一种用于匹配器设备的空气电容结构
本发明涉及等离子刻蚀、淀积设备技术领域，具体涉及一种用于匹配器设备的空气电容结构。所述空气电容结构，包括电容片和连接所述电容片的连接杆，所述连接杆上固定设有连接柱，所述连接柱将镀银线圈与所述连接杆连接。本发明通过在空气电...
杨进徐维江李勇滔夏洋
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一种旋涂装置
本发明公开了一种旋涂装置，属于表面涂覆技术领域，通过电机，所述电机具有一竖直方向上设置的转动轴；样片托盘，所述样片托盘位于所述转动轴的顶端；转盘，所述转盘设置在所述样片托盘的下方，且所述转盘与所述样片托盘之间具有第一预设...
杨进郜晨希刘金虎
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