聂凤明
- 作品数:71 被引量:14H指数:2
- 供职机构:中国兵器科学研究院更多>>
- 发文基金:国家科技重大专项内蒙古自治区自然科学基金宁波市自然科学基金更多>>
- 相关领域:金属学及工艺文化科学自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 一种光学用铝合金表面多维可控反应能束复合抛光方法
- 本发明公开了一种光学用铝合金表面多维可控反应能束复合抛光方法,其特征在于包括有以下步骤:(1)小磨头数控研抛:采用铝合金小磨头数控研抛方法,制备获得光学级铝合金材料样品;(2)化学预抛光:采用碱性抛光液对样品进行化学预抛...
- 李晓静王大森聂凤明赵仕燕吴鹏飞
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- 一种小工具辅助大气等离子体复合抛光头
- 一种小工具辅助大气等离子体复合抛光头,包括底座、力矩伺服电机、连接板、等离子体抛光头和小工具抛光头,底座上设有直线导轨,连接板设在力矩伺服电机前端与转子相连接,力矩伺服电机的定子固定在基板上并通过驱动机构沿直线导轨作竖直...
- 郭海林王大森聂凤明裴宁李晓静张广平张旭
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- 一种用于真空环境的精密角度驱动装置
- 本发明涉及一种用于真空环境的精密角度驱动装置,包括支座、连接套、连接座、绕X轴旋转平台、第一离子源夹持臂、第二离子源夹持臂、绕Y轴旋转平台、从动旋转轴、离子源及控制系统。本发明通过马达直接驱动,与采用旋转电机及齿轮等旋转...
- 聂凤明王大森吴庆堂张广平李雨鹏郭成君裴宁纪淑花
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- 光学元件表面离子束抛光过程边缘效应抑制被引量:6
- 2020年
- 目的为解决光学元件表面进行离子束抛光加工过程中存在边缘效应的问题。方法采用将驻留时间网格在面形采样网格的基础上进行延拓的方法来抑制边缘效应的产生,即将驻留点的网格范围向外进行延拓,使元件边缘部分的采样点中有去除作用的驻留点的数量与中间部分相同,延拓距离大于离子束半径。使用截断奇异值方法求解线性方程组模型的驻留时间,分析仿真结果中边缘效应出现的原因。结果当驻留时间采用和面形误差同样的网格划分时,残留面形不收敛,且发生严重的边缘效应。当取截断参数k=80时,其面形PV值由初始的104.489 nm下降到11.675 nm,RMS值由28.009 nm收敛到1.572 nm,且没有边缘效应的产生。采用上述模拟结果作为实验设定参数,在平面光学元件上进行离子束抛光实验研究,抛光前后,PV值由102 nm降为37 nm,RMS由23 nm降为2 nm。结论实验结果验证了模拟结果的有效性,使用驻留时间网格延拓的方法可以避免边缘效应的产生,在此基础上进行离子束抛光,光学元件面形PV及粗糙度达到了非常好的收敛效果。
- 李晓静王大森王刚张旭张宁裴宁聂凤明齐子诚
- 关键词:光学元件面形误差
- 一种用于活塞销孔加工的压电陶瓷配合杠杆机构的微进给装置
- 一种用于活塞销孔加工的压电陶瓷配合杠杆机构的微进给装置,包括基座、刀柄、镗刀以及进刀压电陶瓷驱动器和退刀压电陶瓷驱动器,刀柄一端插置在基座内,另一端与镗刀固定连接,杠杆轴前后穿过基座、刀柄将刀柄与基座连接在一起、并使刀柄...
- 郭海林聂凤明王大森李晓静裴宁张广平张旭李维杰
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- 真空室光学元件升降定位装置
- 一种真空室光学元件升降定位装置,其特征在于包括架体、电机、托盘、丝杆及导向机构,架体包括至少两块立板及设于立板上的顶板;电机的动力输出端上连接有一蜗杆,托盘包括至少两个纵梁及设于纵梁之间的横梁,每个纵梁上均设于端面朝上的...
- 王大森聂凤明吴庆堂张广平郭成君裴宁纪淑花朱鸿磊
- 一种扩束准直光检测方法
- 本发明公开了一种扩束准直光检测方法,涉及图像处理技术领域。包括:通过剪切干涉方法获取干涉图像,对所述干涉条纹进行空间滤波得到滤波干涉条纹;将所述滤波干涉条纹通过傅里叶变化获取所述滤波干涉条纹的频谱图;通过设置的滤波窗口对...
- 王大森聂凤明张广平裴宁
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- 确定光学元件离子束均匀等速刻蚀最优延拓距离的方法
- 本发明涉及一种确定光学元件离子束均匀等速刻蚀最优延拓距离的方法,包括以下步骤:1)确定元件面形采样阵的采样间距和驻留时间面形的采样间距;2)等速均匀刻蚀;3)通过预测曲线确定驻留时间面形的最优延拓距离。设置边界因子,把不...
- 李晓静王大森张旭郭海林裴宁聂凤明
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- 一种小型椭球式等离子反应腔及其制造方法
- 一种小型椭球式等离子反应腔及其设计方法,包括腔体、设置在腔体内的沉积室以及同轴天线,腔体为下部切边的椭球状金属腔体,椭球状金属腔体的长轴直径Z=430~440mm,短轴半径R=160~170mm,沉积室是由沉积基台与石英...
- 李晓静聂凤明王大森张广平裴宁张旭冯时
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- 用于高强韧钢连杆盖与连杆体脆化胀断夹紧装置
- 一种用于高强韧钢连杆盖与连杆体脆化胀断夹紧装置,其特征在于包括底板、定位套、定位销、定胀套、定夹头、滑台、动胀套、胀杆、动夹头及复位机构,定位套纵向设置于前述的底板的上端面;定位销设于前述定位套上并具有供连杆的小头套设的...
- 聂凤明王大森吴庆堂张广平纪淑花李雨鹏裴宁郭成君
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