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胡澄宇

作品数：4 被引量：25H指数：2
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院电子工程系更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇硅
  • 2篇压阻
  • 2篇各向异性腐蚀
  • 1篇电路
  • 1篇压阻式
  • 1篇异丙醇
  • 1篇应力
  • 1篇水系统
  • 1篇四甲基
  • 1篇四甲基氢氧化...
  • 1篇速度传感器
  • 1篇塑封
  • 1篇氢氧化
  • 1篇氢氧化铵
  • 1篇集成电路
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度传感器
  • 1篇甲基
  • 1篇各向异性
  • 1篇硅压阻

机构

  • 4篇复旦大学

作者

  • 4篇鲍敏杭
  • 4篇胡澄宇
  • 2篇马青华
  • 2篇沈绍群
  • 1篇李善君
  • 1篇陈宏
  • 1篇谢静薇
  • 1篇陈健

传媒

  • 2篇Journa...
  • 1篇复旦学报（自...
  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇1996
  • 2篇1994
  • 1篇1992
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
硅压阻式加速度传感器的结构研究被引量：7
1996年
结合实际器件设计，对三种压阻式加速度传感器结构即双悬臂梁、四梁和双岛－五梁结构进行了详细的力学分析和特性比较，得到了理论计算的灵敏度、固有频率和阻尼等特性，器件的测试结果与理论计算值基本相符，目前三种结构的器件都已实用化，封装后的质量小于１ｇ．该项工作为实际应用中根据不同量程要求选取不同的器件结构与参数提供了依据．
陈宏鲍敏杭胡澄宇
关键词：加速度传感器压阻式硅
集成电路塑封应力的压阻测试
1992年
本文提出了一种用于测量集成电路塑封附加应力的十字型压阻测试图形设计,用它可同时测量芯片平面内的两个正应力及剪切应力,比现有的几种方法更加合理可靠.用这种测试器件对国产塑封料和进口塑封料进行了对比应力测试,所得结果为国产塑封料配方及塑封工艺的改进提供了性能参数.
陈健鲍敏杭胡澄宇李善君谢静薇郑国荣
关键词：集成电路塑封应力
硅各向异性腐蚀＜110＞条补偿图形腐蚀前沿控制被引量：16
1994年
本文报道了一种由＜１１０＞条组成的，用于（１００）硅ＫＯＨ各向异性腐蚀的凸角补偿图形．该图形的设计特点是利用不对称的分枝和端点弯头对条上腐蚀前沿实现控制使补偿后凸角的削角大大减小．文中给出常用补偿图形的有效补偿长度和临界补偿时的削角比．该方法已应用于微机械硅加速度传感器的掩模设计．
鲍敏杭沈绍群胡澄宇马青华Chr.BurrerJ.EsteveJ.BausellsS.Marco
关键词：硅各向异性
四甲基氢氧化铵:异丙醇:水系统对硅的各向异性腐蚀被引量：2
1994年
本文研究了在25%的四甲基氢氧化铵水溶液(TMAHW)中加入异丙醇(IPA)构成的腐蚀系统对硅的各向异性腐蚀特性.研究发现:在异丙醇含量从0%到80%体积比的广大范围内,溶液对硅均有显著的腐蚀作用,且表面质量比纯TMAHW的更好.实验给出了腐蚀速率、削角比和各向异性比R_(100)/R_(111)等参数与IPA含量的关系,结果表明:50%体积IPA与50%体积TMAHW构成的溶液存在腐蚀速率的极大值、削角的极小值和最大的各向异性比及R_(100)/R_(111).因之按此比例配制的新腐蚀液具有表面质量好,与MOS工艺相容以及低成本的优点.
马青华鲍敏杭沈绍群胡澄宇
关键词：硅各向异性腐蚀氢氧化铵异丙醇
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共1页<1>
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