沈绍群
- 作品数：56 被引量：116H指数：6
- 供职机构：复旦大学信息科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金上海市科学技术发展基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 多层硅微机械结构的掩模－无掩模腐蚀技术
- 本发明是加工多层硅微机械结构的掩模—无掩模各向异性腐蚀技术。已有技术采用掩模淀积,光刻和在掩模限制下的硅各向异性腐蚀,用以制作多层结构时工艺复杂而且不能形成较深的结构,有很大的局限性。本发明利用了KOH腐蚀液对有掩模腐蚀...
- 鲍敏杭李昕欣沈绍群杨恒
- 文献传递
- 一种硅微型驻极体声传感器储电膜的化学表面修正方法
- 本发明为一种硅微型驻极体声传感器储电膜的化学表面修饰方法。它利用带抽气阀门的玻璃容器，其底部放置试剂HMDS或DCDMS，上面放置待处理的含SiO<Sub>2</Sub>或Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</S...
- 夏钟福沈绍群李军王丽
- 文献传递
- 一种硅微型驻极体声传感器储电膜的化学表面修正工艺
- 本发明为一种硅微型驻极体声传感器储电膜的化学表面修饰工艺。它利用带抽气阀门的玻璃容器，其底部放置试剂HMDS或DCDMS，上面放置待处理的含SiO<Sub>2</Sub>或Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</S...
- 夏钟福沈绍群李军王丽
- 文献传递
- 静电键合力引起硅微结构畸变的研究被引量：4
- 1997年
- 硅微机械力敏器件在封装时往往采用硅—玻璃静电键合的方法。但在静电键合时静电力也往往作用于不需要键合的结构部分。并可能引起这些结构的畸变，造成器件特性劣化或破坏。本文分析了静电力的这些影响。
- 任建军陶盛沈绍群
- 关键词：硅微结构传感器力敏器件
- 新型多维加速度传感器的设计研究
- 利用微机械加工制造技术(MEMS)制造集成的硅微机械三维加速度传感器,目前在全世界范围内都是研究的热点.这种类型加速度传感器广泛应用于微型卫星、汽车、机器人等各个领域.传统三维加速度传感器的设计思路是将三个一维加速度传感...
- 尹颢杨恒鲍敏杭沈绍群
- 关键词：微电子机械系统加速度传感器
- 文献传递
- 抗高过载微压传感器被引量：5
- 2001年
- 在提高微压传感器灵敏度的研究过程中 ,会遇到非线性和稳定性变差、过载能力不够以及静电封接时背岛与玻璃粘接造成器件失效等现象。提出了应力匀散结构和两层岛的限位结构 ,利用有限元分析和近似解析分析 ,设计了新的双岛 -梁 -膜结构 ,成功地研制出抗高过载微压传感器。量程为 0 .3kPa ,总精度为 0 .4% ,过载能力 >
- 尹颢杨恒王文襄沈绍群鲍敏杭
- 关键词：微压传感器过载能力非线性灵敏度
- 车辆轮胎漏气遥控报警装置
- 本实用新型属报警器技术领域,具体涉及一种轮胎漏气数码遥控报警装置。它由开关传感器、数码遥控发讯器、信号无线接收器以及报警显示器构成。其中开关传感器是一种超小型的机械触点式开关传感器,起发讯器的电源开关控制作用。当轮胎发生...
- 沈绍群阎学贤
- 文献传递
- 低量程高线性压阻式微机械加速度计
- 本文介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装。还详细介绍了静态和动态特性的检测。为提高灵敏度,传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有横向效应进行了计算,结果表明此种结构的三种横向效应中主要是由...
- 金虎陆德仁沈绍群鲍敏杭
- 关键词：加速度传感器压阻式
- 文献传递
- 静电力作用下微机械结构的位移特性分析被引量：14
- 1999年
- 分析了在微机械传感器与执行器中常用的３种微机械结构在静电力作用下的静态位移特性，并对典型结构进行了数值计算。结果显示对质量块平动的双端固支梁岛结构在静电力作用下极板的最大平衡位移正好为无静电力时极板间距的１／３。
- 杨恒鲍敏杭沈绍群李昕欣任建军
- 关键词：静电力微机械结构静电驱动传感器
- 化学表面处理对热生长氧化形成的SiO＿2驻极体电荷寿命的影响被引量：2
- 1994年
- 以实验结果为依据研究了化学表面处理对ＳｉＯ＿２薄膜驻极体内电荷储存稳定性的影响。得知用ＨＭＤＳ或ＤＣＤＭＳ等有机试剂进行的化学表面处理将在ＳｉＯ＿２驻极体表面形成一个疏水的保护层。通常情况下，它将起到防止外界环境中的水吸附而形成的表面导电结构，对改善这一驻极体薄膜的电荷储存稳定性起到显著的作用；伴随着驻极体内长久电荷的捕获储存，在驻极体内发生的电化学反应将有水分子生成，而用化学表面处理后形成的疏水保护层有时也会阻止驻极体内部过剩的水分子向外扩散，造成用化学表面处理后驻极体内的电荷较快衰减这一反常现象的发生。
- 林华茂夏钟福丁亥沈绍群
- 关键词：二氧化硅驻极体
