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孟庆宾

作品数：8 被引量：6H指数：1
供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 6篇感器
  • 6篇波前
  • 6篇波前传感器
  • 6篇传感
  • 6篇传感器
  • 4篇哈特曼波前传...
  • 3篇衍射
  • 3篇深紫外
  • 3篇准直
  • 3篇准直物镜
  • 3篇微孔
  • 3篇物镜
  • 3篇共焦
  • 2篇衍射波
  • 2篇神经网
  • 2篇神经网络
  • 2篇神经网络训练
  • 2篇网络
  • 2篇网络训练
  • 2篇微孔板

机构

  • 8篇中国科学院光...
  • 2篇中国科学院大...

作者

  • 8篇孟庆宾
  • 7篇卢增雄
  • 7篇周翊
  • 7篇齐月静
  • 7篇苏佳妮
  • 6篇王宇
  • 6篇齐威
  • 4篇刘广义
  • 3篇梅东滨
  • 3篇杨光华
  • 2篇高斐
  • 1篇王倩
  • 1篇赵江山

传媒

  • 1篇光电子．激光
  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2018
  • 3篇2017
  • 2篇2016
  • 2篇2015
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法
本发明是关于一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法，是采用夏克‑哈特曼波前传感器法进行微孔衍射波前质量的测量。其通过高精度平面参考波前实现夏克‑哈特曼波前传感器的高精度标定，再根据高精度系统误差的标定结果进行微孔衍射波前形...
卢增雄梅东滨齐月静孟庆宾刘广义齐威苏佳妮周翊王宇
文献传递
一种深紫外光学系统共焦对准装置
本实用新型公开了一种深紫外光学系统共焦对准装置，该装置包括小孔板(1)、准直物镜(2)、分束板(3)、共轭成像物镜(4)、深紫外光学系统(5)、深紫外光学系统会聚光束(501)、球面反射镜(6)、球面反射镜会聚光束(60...
卢增雄齐月静王宇苏佳妮齐威杨光华周翊孟庆宾
文献传递
一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法
本发明公开了一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法，该装置包括小孔板(1)、准直物镜(2)、分束板(3)、共轭成像物镜(4)、深紫外光学系统(5)、深紫外光学系统会聚光束(501)、球面反射镜(6)、球面反射镜会聚光束(6...
卢增雄齐月静王宇苏佳妮齐威杨光华周翊孟庆宾
文献传递
环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析被引量：5
2016年
环境温度变化是影响夏克一哈特曼波前传感器（SHWS）测量精度的重要因素之一。采用Zemax软件热分析功能，分析了环境温度变化引起的微透镜阵列（MLA）变形及折射率变化、MLA和电荷耦合器件（CCD）间距变化以及球面波点源与SHWS间距变化对SHWS测量精度的影响。分析计算得出，环境温度变化引起的MLA和CCD间距变化是影响SHWS测量精度的主要因素，环境温度在21～24℃内每增加1℃，给测量结果带来的误差[均方根（RMS）]约为0．52nm。通过单模光纤衍射产生近于理想的球面波对SHWS测量精度进行实验验证，实验结果和仿真分析结果基本一致。
孟庆宾齐月静卢增雄苏佳妮高斐
关键词：环境温度
一种微孔衍射波前质量的测量装置
本实用新型是关于一种微孔衍射波前质量的测量装置，是采用夏克-哈特曼波前传感器法进行微孔衍射波前质量的测量。其通过高精度平面参考波前实现夏克-哈特曼波前传感器的高精度标定，再根据高精度系统误差的标定结果进行微孔衍射波前形状...
卢增雄梅东滨齐月静孟庆宾刘广义齐威苏佳妮周翊王宇
文献传递
一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法
本发明是关于一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法，是采用夏克-哈特曼波前传感器法进行微孔衍射波前质量的测量。其通过高精度平面参考波前实现夏克-哈特曼波前传感器的高精度标定，再根据高精度系统误差的标定结果进行微孔衍射波前形...
卢增雄梅东滨齐月静孟庆宾刘广义齐威苏佳妮周翊王宇
光刻用准分子激光器中心波长在线测量研究被引量：1
2016年
实现了一种准分子激光光刻光源中心波长的实时测量方法。基于法布里珀罗（F-P）标准具与中阶梯光栅的相关测量装置,通过对F-P标准具的干涉条纹和光栅衍射条纹的分析,实现了对光刻光源输出激光中心波长的在线有效测量。整个测量装置体积小、成本低,在500-3 000 Hz高重频条件下,实现了亚pm量级的测量精度,标准差低于0.1pm,取得了较好的实验结果。
高斐赵江山王倩刘广义白路军周翊孟庆宾
关键词：准分子激光器光刻中心波长
一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法
本发明公开了一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法，该装置包括小孔板(1)、准直物镜(2)、分束板(3)、共轭成像物镜(4)、深紫外光学系统(5)、深紫外光学系统会聚光束(501)、球面反射镜(6)、球面反射镜会聚光束(6...
卢增雄齐月静王宇苏佳妮齐威杨光华周翊孟庆宾
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