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陈泓霖
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
重庆大学光电工程学院微系统研究中心
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发文基金:
中央高校基本科研业务费专项资金
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相关领域:
医药卫生
一般工业技术
电子电信
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合作作者
李伟
重庆大学光电工程学院新型微纳器...
李伟
重庆大学光电工程学院微系统研究...
武鹏飞
重庆大学光电工程学院新型微纳器...
杨凯
重庆大学光电工程学院新型微纳器...
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残余应力测定
机构
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重庆大学
作者
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陈泓霖
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杨凯
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1篇
李伟
1篇
李伟
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压电与声光
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2016
1篇
2015
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掺杂铌和钴元素的PZT薄膜的残余应力测定
2016年
锆钛酸铅(PZT)薄膜具有优异的压电性能,是制作微机电系统(MEMS)振动式能量收集器的理想材料。在溶胶-凝胶法制备PZT薄膜的过程中产生的残余应力会对能量收集器有负面影响。该文利用X线衍射法对在退火温度分别为650℃、700℃、750℃、800℃下掺杂铌(Nb)和钴(Co)元素的PZT薄膜样品的残余应力进行了测定。实验结果表明,PZT薄膜样品中的残余应力表现为压应力,从650℃升高到750℃的过程中,随着退火温度的升高薄膜中的残余应力增大;直到750℃附近后,残余应力基本保持稳定。
陈泓霖
李伟
李伟
武鹏飞
杨凯
关键词:
溶胶-凝胶法
PZT薄膜
残余应力
退火温度
基于声表面波器件的扭矩检测研究
种植义齿是近年来发展起来的新型口腔修复体技术,它是一种骨支持式义齿技术,更接近天然牙齿的传力方式。由于其具有良好的稳定性、美观舒适性以及适应症广泛等特点,被广泛应用于口腔临床治疗中,用以解决许多常规义齿难以解决的疑难修复...
陈泓霖
关键词:
声表面波
口腔修复体
种植义齿
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