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杨凯

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：重庆大学光电工程学院微系统研究中心更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇应力测定
  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶法
  • 1篇退火
  • 1篇退火温度
  • 1篇PZT薄膜
  • 1篇铌
  • 1篇残余应力
  • 1篇残余应力测定

机构

  • 1篇重庆大学

作者

  • 1篇杨凯
  • 1篇陈泓霖
  • 1篇武鹏飞
  • 1篇李伟
  • 1篇李伟

传媒

  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
掺杂铌和钴元素的PZT薄膜的残余应力测定
2016年
锆钛酸铅(PZT)薄膜具有优异的压电性能,是制作微机电系统(MEMS)振动式能量收集器的理想材料。在溶胶-凝胶法制备PZT薄膜的过程中产生的残余应力会对能量收集器有负面影响。该文利用X线衍射法对在退火温度分别为650℃、700℃、750℃、800℃下掺杂铌(Nb)和钴(Co)元素的PZT薄膜样品的残余应力进行了测定。实验结果表明,PZT薄膜样品中的残余应力表现为压应力,从650℃升高到750℃的过程中,随着退火温度的升高薄膜中的残余应力增大;直到750℃附近后,残余应力基本保持稳定。
陈泓霖李伟李伟武鹏飞杨凯
关键词：溶胶-凝胶法PZT薄膜残余应力退火温度
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