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盛博文
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北京大学
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王新强
北京大学
沈波
北京大学
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荣新
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郑显通
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一种补偿氮空位并抑制漏电流的氮化物铁电薄膜的制备方法
本发明公开了一种补偿氮空位并抑制漏电流的氮化物铁电薄膜的制备方法。本发明利用离子注入和热退火工艺,得到补偿氮空位并抑制漏电流的氮化物铁电薄膜;本发明既能够通过大剂量、大能量和高深度的近下表面氮离子注入,解决由于应力引起的...
王新强
王睿
王平
叶昊天
盛博文
刘放
一种可控阵列纳米线及其场效应晶体管的制备方法
本发明公开了一种可控阵列纳米线的制备方法及其场效应晶体管的制备方法。本发明通过选择外延生长中生长材料沿不同晶向的生长速率各向异性的材料作为衬底,从而实现纳米线的生长;通过设计图形化衬底的排布和直径,可精确调控阵列纳米线的...
王新强
王平
沈波
杨学林
郑显通
荣新
盛博文
一种二维通道结构及其制备方法
本发明公开了一种二维通道结构及其制备方法。本发明采用支架支撑隔离层,获得多种二维通道结构,适用材料范围广;各层的间距精确可控,二维通道结构设计约束少,适用众多图案;适合工业化生产,图案精度高且适用于多种工业化生产方法,制...
袁竹君
王新强
王平
盛博文
李沫
张健
沈波
一种利用二维晶体过渡层制备半导体单晶衬底的方法
本发明公开了一种利用二维晶体过渡层制备半导体单晶衬底的方法。本发明通过在半导体单晶厚膜结构与异质衬底之间引入二维晶体过渡层,利用原子层间分子力结合弱、易于破坏分离的特点,采用剥离方法实现半导体单晶厚膜结构与异质衬底的分离...
王新强
刘放
沈波
吴洁君
荣新
郑显通
盛博文
文献传递
一种电写光读氮化物铁电神经形态器件及其制备方法
本发明公开了一种电写光读氮化物铁电神经形态器件及其制备方法。本发明各层结构在同一设备的同一腔体中全外延实现,有利于提升界面质量,并提升器件的可靠性;利用多层复合式铁电层功能层,有利于增强器件的多态特性,通过精确控制超晶格...
王新强
王睿
王平
叶昊天
盛博文
一种II型超晶格全彩微型发光二极管显示芯片
本发明提供了一种II型超晶格全彩微型发光二极管显示芯片,包括:至少一个芯片单元;所述芯片单元包括:依次排布的第一N型导电层、红光II型超晶格层、第一P型导电层、绿光II型超晶格层、第二N型导电层、蓝光II型超晶格层和第二...
王新强
陈兆营
刘放
盛博文
袁泽兴
一种光辅助金属有机化合物化学气相沉积装置及实现方法
本发明公开了一种光辅助金属有机化合物化学气相沉积装置及实现方法。本发明采用光束传输光路,对光束聚焦、分束、扩束准直和位置调节的操作,并对MOCVD系统加设入光窗口、出光窗口和惰性气体传输管道,使得光束通过入光窗口进入至反...
王新强
陈兆营
刘放
盛博文
垂直式光辅助金属有机物化学气相沉积装置及其沉积方法
本发明公开了一种垂直式光辅助金属有机物化学气相沉积装置及其沉积方法。本发明采用光场垂直作用于层状反应剂气流上,光场与反应剂气流的作用路径短,减小了所需激光功率,降低了光辅助MOCVD装置的设计难度、提高了安全性;同时减少...
王新强
陈兆营
刘放
盛博文
李铎
一种基于二维晶体过渡层的氮化铝复合衬底的制备方法
本发明公开了一种基于二维晶体过渡层的氮化铝复合衬底的制备方法。本发明采用图形化掩模板,图形化掩模板具有多个互相平行且均平行于掩膜基体晶向的带状的通孔,通过图形化掩模板依次沉积BON、BN和AlN,化学刻蚀得到复合平片结构...
王新强
刘放
陈兆营
盛博文
郭昱成
沈波
一种双组分渐变结构太阳能电池及其制备方法
本发明公开了一种双组分渐变结构太阳能电池及其制备方法。本发明的太阳能电池包括:衬底、底电极接触层、底组分渐变层、吸收增强层、顶组分渐变层、顶电极接触层、顶电极、底电极以及钝化层;其中,在衬底上生长底电极接触层;在底电极接...
王新强
盛博文
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王平
唐宁
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马定宇
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