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贾轶群

作品数：9 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇中文专利

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 8篇半导体
  • 6篇半导体设备
  • 2篇断点
  • 2篇多线程
  • 2篇旋转传感器
  • 2篇输入接口
  • 2篇线程
  • 2篇耐久
  • 2篇耐久性
  • 2篇晶圆
  • 2篇控制方法
  • 2篇感器
  • 2篇半导体工艺
  • 2篇承载器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇异常处理
  • 1篇远程
  • 1篇远程终端
  • 1篇上位机

机构

  • 9篇北京七星华创...

作者

  • 9篇贾轶群
  • 5篇钟结实
  • 5篇张立超
  • 4篇刘建涛

年份

  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 5篇2014
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
半导体取放设备耐久性的检测方法
本发明公开了一种半导体取放设备耐久性的检测方法，包括取放设备执行硅片盒以及硅片的取放动作，检测系统的控制单元驱动数据采集单元采集第一伸缩传感器、第一旋转传感器、第二伸缩传感器、第二旋转传感器、第一位置传感器以及第二位置传...
贾轶群刘建涛钟结实张立超
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半导体设备运动传输模块的异常处理方法
本发明公开了一种半导体运动传输模块的异常处理方法，用于在作业运行期间捕捉并处理所述半导体设备中各个运动传输模块所发生的异常情况，所述异常处理方法包括捕捉所述作业运行期间的异常情况并定位发生该异常情况的运动传输模块；提供该...
魏靖南黄扬君贾轶群钟结实
半导体工艺的指令执行的控制方法
本发明公开了一种指令执行的控制方法，包括对每一个指令创建对应的指令对象和对应的状态对象，其中指令对象中存储其对应指令的指令信息，状态对象中存储其对应指令的状态信息，状态信息包括指令完成条件及指令执行状态；接收所述上位机发...
黄扬君魏靖南贾轶群刘建涛
一种半导体设备软件重启后状态恢复的方法
一种半导体设备软件重启后状态恢复的方法，该方法包括按照技术存储单元中记录的设备实际工艺模块属性，配置包含各实际设备模块下属的所有承载器信息，以及各承载器内(下属)所有晶圆信息的记录文件；在工艺过程中，根据反射技术存储设备...
黄扬君贾轶群魏靖南张立超
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一种半导体设备软件重启后状态恢复的方法
一种半导体设备软件重启后状态恢复的方法，该方法包括按照反射技术存储单元中记录的设备实际工艺模块属性层次架构，配置包含各实际工艺设备模块下属的所有晶圆承载器信息，以及各晶圆承载器内(下属)所有晶圆信息的记录文件；在工艺过程...
黄扬君贾轶群魏靖南张立超
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半导体工厂设备的分布式管理系统
本发明公开了一种半导体工厂设备的分布式管理系统，包括设备服务端，数据中心服务器以及远程终端。其中，设备服务端与半导体工厂内的各设备进行数据交互；数据中心服务器与设备服务端和远程终端相连，并进行数据交互；远程终端通过所述数...
魏靖南张立超钟结实贾轶群
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半导体取放设备耐久性的检测方法
本发明公开了一种半导体取放设备耐久性的检测方法，包括取放设备执行硅片盒以及硅片的取放动作，检测系统的控制单元驱动数据采集单元采集第一伸缩传感器、第一旋转传感器、第二伸缩传感器、第二旋转传感器、第一位置传感器以及第二位置传...
贾轶群刘建涛钟结实张立超
文献传递
半导体设备运动传输模块的异常处理方法
本发明公开了一种半导体运动传输模块的异常处理方法，用于在作业运行期间捕捉并处理所述半导体设备中各个运动传输模块所发生的异常情况，所述异常处理方法包括捕捉所述作业运行期间的异常情况并定位发生该异常情况的运动传输模块；提供该...
魏靖南黄扬君贾轶群钟结实
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半导体工艺的指令执行的控制方法及控制装置
本发明公开了一种指令执行的控制方法，包括对每一个指令创建对应的指令对象和对应的状态对象，其中指令对象中存储其对应指令的指令信息，状态对象中存储其对应指令的状态信息，状态信息包括指令完成条件及指令执行状态；接收所述上位机发...
黄扬君魏靖南贾轶群刘建涛
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