您的位置： 专家智库 > >

钟结实

作品数：28 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 28篇中文专利

领域

  • 4篇自动化与计算...
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 12篇半导体
  • 6篇物料
  • 6篇物料供应
  • 6篇报警
  • 5篇机械手
  • 4篇配置方法
  • 4篇系统模型
  • 4篇反馈控制
  • 4篇报警处理
  • 4篇报警事件
  • 3篇调度
  • 3篇用户
  • 3篇用户界面
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇电偶
  • 2篇调度方法
  • 2篇旋转传感器
  • 2篇压力计

机构

  • 28篇北京七星华创...

作者

  • 28篇钟结实
  • 19篇刘建涛
  • 11篇张立超
  • 9篇王春洪
  • 6篇徐冬
  • 6篇王亚宁
  • 5篇贾轶群
  • 3篇王凯
  • 2篇郑思远
  • 2篇杨帅
  • 1篇张云鹏

年份

  • 5篇2017
  • 7篇2016
  • 2篇2015
  • 12篇2014
  • 2篇2012
共 28 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
半导体工艺的报警处理方法
本发明公开了一种半导体工艺的报警处理方法，用于对半导体处理工艺的各工艺步骤所产生的不同报警事件进行相应的处理，所述报警处理方法包括对于每一个所述报警事件根据不同的所述工艺步骤设定对应的组别；其中，不同所述工艺步骤中，相同...
张立超刘建涛钟结实王亚宁
文献传递
具有工艺管压力控制装置的半导体热处理设备及控制方法
本发明公开了一种具有工艺管压力控制装置的半导体热处理设备及控制方法，通过将压力控制器原有的一个采样点增加为两个采样点，其中一个采样点可继续采集工艺管排气端的压力，另一个采样点用于采集承载区域内的压力，并增加在工艺的不同阶...
穆晓航钟结实王凯杨帅
一种具有防撞功能的传片机械手及其防撞方法
本发明公开了一种具有防撞功能的传片机械手及其防撞方法，通过在传片机械手上设置振动传感器芯片采集传片机械手的抓手与硅片碰撞时产生的振动频率，能够有效地采集到碰撞产生的微小冲击力，并能及时传递碰撞信号，通过机械手控制器对振动...
王凯穆晓航钟结实张云鹏
一种基于串级控制的微环境压力调度方法
一种基于串级控制的微环境压力调度方法包括根据物料供应环境系统特点建立传递函数反应模型；引入参考输入偏差积分系统，建立增广状态状态方程；获取该环境系统系统状态反馈调节控制律；通过物料供应系统的闭环特征方程式求得控制律参数；...
刘建涛钟结实王春洪徐冬
文献传递
晶盒仓储柜搁架的配置方法
本发明公开了一种晶盒仓储柜搁架的配置方法，包括以下步骤：步骤S1、检测单元获取晶盒类型，检测单元将信号反馈至控制单元；步骤S2、控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满；步骤S3、控制单元发出命令控制机械手取放晶...
钟结实黄扬君刘建涛王亚宁
文献传递
一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法
一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法，该方法包括：采用数据库设置并存储所有报警及其属性，其中，所述属性包括报警编号属性、报警名称属性、报警级别属性、报警的限制属性、报警处理方式属性、PLC报警的通道地址、报警所处被监...
王亚宁郑思远钟结实张立超
文献传递
半导体工厂设备的分布式管理系统
本发明公开了一种半导体工厂设备的分布式管理系统，包括设备服务端，数据中心服务器以及远程终端。其中，设备服务端与半导体工厂内的各设备进行数据交互；数据中心服务器与设备服务端和远程终端相连，并进行数据交互；远程终端通过所述数...
魏靖南张立超钟结实贾轶群
文献传递
一种基于串级控制的微环境压力调度方法
一种基于串级控制的微环境压力调度方法包括根据物料供应环境系统特点建立传递函数反应模型；引入参考输入偏差积分系统，建立增广状态状态方程；获取该环境系统系统状态反馈调节控制律；通过物料供应系统的闭环特征方程式求得控制律参数；...
刘建涛钟结实王春洪徐冬
文献传递
晶盒仓储柜搁架的配置方法
本发明公开了一种晶盒仓储柜搁架的配置方法，包括以下步骤：步骤S1、检测单元获取晶盒类型，检测单元将信号反馈至控制单元；步骤S2、控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满；步骤S3、控制单元发出命令控制机械手取放晶...
钟结实黄扬君刘建涛王亚宁
文献传递
一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法
一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法，该方法包括：采用数据库设置并存储所有报警及其属性，其中，所述属性包括报警编号属性、报警名称属性、报警级别属性、报警的限制属性、报警处理方式属性、PLC报警的通道地址、报警所处被监...
王亚宁郑思远钟结实张立超
文献传递
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0