章志兴
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：北京京东方光电科技有限公司更多>>
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- TFT-LCD制造工艺中金属或金属复合膜层坡度角的研究被引量：2
- 2018年
- 在薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)面板制程中,Gate层(栅极)电路和SD层(源极)电路根据产品电阻等要求可以使用纯金属膜层,如钼、铜等金属膜层,也可以使用金属复合膜层,如铝钼、铝钕钼、钼铝钼等金属复合膜层。当使用不同金属或金属复合膜层作为Gate、SD电路时,应当对应不同的刻蚀液。但在实际生产时,往往是一种刻蚀液同时对应金属膜层或金属复合膜层。由于钼金属膜层的Etch Rate(刻蚀速率)大于铝钼等金属复合膜层Etch Rate,所以当铝钼等金属复合膜层刻蚀完成后对应坡度角有时会存在异常,如膜层角度较大(80～90°)、顶层金属钼发生尖角或缩进等现象,产生宏观不良及进行后工序时会产生相应的光学不良或导致后层物质残留,影响产品品质。本文针对金属膜层或金属复合膜层坡度角进行影响因素分析,主要受刻蚀工序及曝光工序影响。通过对刻蚀液浓度调整、温度调整、刻蚀方式调整及曝光工序等调整减少金属钼发生尖角、缩进几率,将金属膜层坡度角控制在60°左右及金属复合膜层坡度角控制在50°左右,从而降低不良的发生率,提高产品品质。
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- 关键词：ETCHRATE膜层刻蚀
- TFT-LCD制造药液槽及其设备
- 本实用新型公开了一种TFT-LCD制造药液槽及其设备，涉及液晶显示技术领域，能够提高检测液位实际量的能力，并有效降低液位检测传感器的误报警，提高设备驾动率。TFT-LCD制造药液槽，所述药液槽设置有与所述药液槽相连通的检...
- 吴健章志兴张宇昊
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