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TFT-LCD制造工艺中金属或金属复合膜层坡度角的研究被引量：2: 2018年; 在薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)面板制程中,Gate层(栅极)电路和SD层(源极)电路根据产品电阻等要求可以使用纯金属膜层,如钼、铜等金属膜层,也可以使用金属复合膜层,如铝钼、铝钕钼、钼铝钼等金属复合膜层。当使用不同金属或金属复合膜层作为Gate、SD电路时,应当对应不同的刻蚀液。但在实际生产时,往往是一种刻蚀液同时对应金属膜层或金属复合膜层。由于钼金属膜层的Etch Rate(刻蚀速率)大于铝钼等金属复合膜层Etch Rate,所以当铝钼等金属复合膜层刻蚀完成后对应坡度角有时会存在异常,如膜层角度较大(80～90°)、顶层金属钼发生尖角或缩进等现象,产生宏观不良及进行后工序时会产生相应的光学不良或导致后层物质残留,影响产品品质。本文针对金属膜层或金属复合膜层坡度角进行影响因素分析,主要受刻蚀工序及曝光工序影响。通过对刻蚀液浓度调整、温度调整、刻蚀方式调整及曝光工序等调整减少金属钼发生尖角、缩进几率,将金属膜层坡度角控制在60°左右及金属复合膜层坡度角控制在50°左右,从而降低不良的发生率,提高产品品质。; 范学丽靖瑞宽王晏酩靳腾董建杰许永昌徐斌章志兴高矿; 关键词：ETCH RATE 膜层刻蚀

喷涂设备: 本发明公开了一种喷涂设备，涉及显示技术领域，能够有效改善在喷涂过程中出现的喷涂不均匀的现象，改善了喷涂的效果。本发明提供的喷涂设备，包括连接装置和喷头，其中所述喷头包括喷涂部分，所述喷涂部分为梯形体结构，包括相连通的第一...; 徐斌

基板处理设备: 本实用新型公开了一种基板处理设备，包括：多个传送轮，所述多个传送轮成排设置，用于传送玻璃基板；多个滑轨，设置于玻璃基板上方；多个喷嘴，设置于滑轨上，用于在滑轨上滑动，并向玻璃基板上喷淋液体；每排传送轮从所述玻璃基板的边缘...; 徐斌; 文献传递

空气刀装置: 本实用新型公开了一种空气刀装置，包括：空气刀和用于固定空气刀两端的支架，所述空气刀呈棱柱体，其一端设置有一进气口，一条棱边上设置有一线形缝隙状出气口；还包括：控制单元和驱动单元；控制单元，与驱动单元连接，用于控制驱动单元...; 孙文昌范学丽徐斌; 文献传递

一种移动终端支架: 本发明公开了一种移动终端支架，移动终端配合该移动终端支架使用，防水防潮性较佳。移动终端支架包括：支撑壳体，前侧具有支撑靠槽，支撑靠槽包括靠壁、相对的第一侧壁和第二侧壁以及相对的第三侧壁和第四侧壁，第一侧壁具有保护膜通过孔...; 徐斌吴昊刘旭忠安娜罗宗玮马晓次刚郭宝磊宫心峰许少鹏罗振华张铮管清竹

喷涂设备: 本发明公开了一种喷涂设备，涉及显示技术领域，能够有效改善在喷涂过程中出现的喷涂不均匀的现象，改善了喷涂的效果。本发明提供的喷涂设备，包括连接装置和喷头，其中所述喷头包括喷涂部分，所述喷涂部分为梯形体结构，包括相连通的第一...; 徐斌; 文献传递

一种平板传送装置: 本实用新型公开了一种平板传送装置，该装置包括：机架；安装在机架上的轴线平行的第一主动滚轮和第一从动滚轮，以及安装在机架上轴线平行的第二主动滚轮和第二从动滚轮，其中，第一主动滚轮与第二主动滚轮啮合传动；缠绕第一主动滚轮和第...; 徐斌吕俊君肖红玺; 文献传递

一种传送组件、传送装置及应用此传送装置的设备: 本实用新型公开了一种传送组件，包括：主体支架、传送滚轮、传送齿带，所述主体支架的上表面设有装载和卸载玻璃基板的所述传送滚轮；所述主体支架的侧面设有所述传送齿带。本实用新型还公开了一种传送装置，该装置包括所述的传送组件，且...; 刘国梁徐斌孔令勇; 文献传递

一种气、液刀设备: 本实用新型实施例提供一种气、液刀设备，涉及液晶面板制造领域，设定后可以自动调整气、液刀刀头的角度，减少了操作时间，提高了调整精度。提供的气、液刀设备，包括：气、液刀刀头；转动轴，固定安装在所述气、液刀刀头上；驱动装置，与...; 徐斌; 文献传递

干法刻蚀设备对PR胶灰化能力研究: 以02+ SF6为刻蚀气体用RIE刻蚀机在180mtorr压力下刻蚀Glass表面PR胶.通过对TFT不同层的PR胶进行灰化刻蚀,研究干法刻蚀设备灰化能力,并通过在线电学特性测试设备EPM曲线对干法刻蚀设备灰化后的TFT...; 董宜萍谢海征肖红玺徐斌刘还平; 关键词：薄膜晶体管液晶显示器光刻胶; 文献传递

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徐斌