刘孝丽
- 作品数:8 被引量:17H指数:3
- 供职机构:兰州空间技术物理研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国防科技重点实验室基金更多>>
- 相关领域:理学机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- 聚酰亚胺基底金属薄膜激光刻蚀温度场分布被引量:8
- 2016年
- 为研究脉冲激光刻蚀聚酰亚胺基底镀金属薄膜过程,采用有限元软件COMSOL Multiphysics构建高斯脉冲激光辐照复合材料的2维非稳态物理模型,通过求解热传导方程计算不同功率激光辐照金属薄膜的温度场分布,讨论不同激光参数对刻蚀进程的影响。模拟结果表明:刻蚀深度主要受激光功率密度的影响,且随着金属薄膜厚度的增加,激光刻蚀深度先减小后保持不变。在刻蚀过程中,为了更好地保护基底,应选择大功率短脉宽的激光参数;由于铜薄膜比铝薄膜更难刻蚀,在铜薄膜的刻蚀过程中应选择较大功率密度的激光。结果有助于理解激光刻蚀过程,对实际刻蚀过程有一定的指导意义。
- 张宏伟任妮薛红涛汤富领闫晓东路文江刘孝丽
- 关键词:激光技术脉冲激光激光刻蚀金属薄膜温度场刻蚀深度
- 氧分子在Mo(110)面吸附的第一性原理研究被引量:2
- 2016年
- 采用密度泛函理论和周期平板模型,研究了氧分子在Mo(110)表面的吸附行为.对氧分子在Mo(110)表面的3种吸附位置(顶位、桥位和穴位)的吸附能和几何构型参数进行了对比计算,确定了最稳定的吸附位置.在此基础上,利用原子轨道电荷分布和能态密度(DOS)分析了氧分子与Mo原子的成键机理.结果表明:对于Mo(110)表面,氧分子在桥位的吸附是体系最稳定的几何构型,其吸附能为2.99eV;氧分子吸附于Mo(110)面主要是由于O的2p轨道与Mo的4p轨道发生重叠杂化的结果.
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- 关键词:吸附能态密度
- 激光刻蚀聚酰亚胺基底镀铝薄膜的机理研究
- 为研究激光刻蚀聚酰亚胺基底镀铝薄膜的作用机理,本文采用SSB理论模型模拟了一定条件下激光与铝膜/聚酰亚胺材料体系的相互作用过程,采用1064nm激光对聚酰亚胺基底上铝薄膜进行了刻蚀实验。采用原子力显微镜与扫描电镜对实验样...
- 刘孝丽熊玉卿任妮王瑞吴敢
- 关键词:激光刻蚀聚酰亚胺刻蚀深度
- 移动脉冲激光刻蚀金属/聚酰亚胺数值模拟被引量:4
- 2017年
- 为了研究移动脉冲激光刻蚀单/双层金属/聚酰亚胺基复合材料的规律,利用有限元方法建立了移动纳秒脉冲激光刻蚀的通用模型,讨论了移动速度对激光刻蚀深度的影响,分析了金属铝薄膜和双层金属膜在移动脉冲激光作用下的温度变化规律。结果表明,当激光移动速率一定时,刻蚀深度开始时不断增加,但增加幅度逐渐减小,刻蚀深度逐渐趋于一定值,即达到最大刻蚀深度;金属与基底材料界面处的温度变化相较于金属薄膜靠近光源处的在时间上有一定滞后,基底温度在激光关闭后可继续上升;刻蚀双层金属膜时,下层选用较厚且热导率较大的金属薄膜有利于保护聚酰亚胺基底。
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- 关键词:激光技术脉冲激光聚酰亚胺温度场刻蚀深度
- 复合材料表面导电涂层的应力分析研究
- 为研究复合材料表面导电涂层的应力分布及影响因素,本文采用有限元分析软件ANSYS 模拟了纤维增强的复合材料基底上镀铝膜和铜膜的应力分布,以及有过渡层导电涂层的应力变化趋势。得出增加过渡层后,形成的“导电涂层/过渡层/复合...
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- 关键词:镀铝膜应力变化
- 一种缓解复合材料表面金属涂层微裂纹扩展的方法
- 本发明公开了一种缓解复合材料表面金属涂层微裂纹扩展的方法,包括下列步骤:(1)化学清洗:首先采用棉布蘸丙酮对复合材料表面进行擦洗,然后采用无水乙醇对复合材料表面进行脱水处理;(2)离子束清洗:在真空室通入氩气,确保真空室...
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- 文献传递
- 一种复合材料表面抗冷热冲击导电涂层结构设计方法
- 本发明公开了一种复合材料表面抗冷热冲击导电涂层结构设计方法,包括确定导电涂层材料、涂层应力模拟仿真分析、涂层结构设计、过渡层材料选择和涂层结构设计优化五个步骤。本发明解决了复合材料表面涂层经过多次冷热交变后产生裂纹,甚至...
- 武生虎马占吉刘孝丽肖更竭赵栋才牟先凯
- 文献传递
- 激光刻蚀聚酰亚胺基底铝薄膜的温度场模拟被引量:5
- 2015年
- 为了研究1064 nm激光刻蚀聚酰亚胺基底镀铝薄膜的作用机理,采用有限元分析软件ANSYS模拟了激光对聚酰亚胺基底上铝薄膜的刻蚀过程,分析了激光脉冲作用于铝薄膜表面时的能量传输及转化过程,获得了铝薄膜及聚酰亚胺基底中的温度场分布,进一步验证了在脉冲激光作用下由于基底材料易分解而产生的薄膜/基底界面分离机制。
- 刘孝丽熊玉卿杨建平王瑞吴敢任妮
- 关键词:激光刻蚀聚酰亚胺温度场