任妮
- 作品数:17 被引量:22H指数:3
- 供职机构:兰州空间技术物理研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信一般工业技术理学机械工程更多>>
- 一种滚珠表面镀膜的装置
- 本发明公开了一种滚珠表面镀膜的装置。本发明采用将上转盘通过限位孔与固定架固定,而下转盘与旋转轴相连的方式,即下转盘转动,上转盘固定不动,使得滚珠的各表面与旋转轴的旋转中心的距离不一样,进而导致滚珠的自转,使得直线传播的膜...
- 赵栋才肖更竭马占吉武生虎任妮
- 聚酰亚胺基底金属薄膜激光刻蚀温度场分布被引量:8
- 2016年
- 为研究脉冲激光刻蚀聚酰亚胺基底镀金属薄膜过程,采用有限元软件COMSOL Multiphysics构建高斯脉冲激光辐照复合材料的2维非稳态物理模型,通过求解热传导方程计算不同功率激光辐照金属薄膜的温度场分布,讨论不同激光参数对刻蚀进程的影响。模拟结果表明:刻蚀深度主要受激光功率密度的影响,且随着金属薄膜厚度的增加,激光刻蚀深度先减小后保持不变。在刻蚀过程中,为了更好地保护基底,应选择大功率短脉宽的激光参数;由于铜薄膜比铝薄膜更难刻蚀,在铜薄膜的刻蚀过程中应选择较大功率密度的激光。结果有助于理解激光刻蚀过程,对实际刻蚀过程有一定的指导意义。
- 张宏伟任妮薛红涛汤富领闫晓东路文江刘孝丽
- 关键词:激光技术脉冲激光激光刻蚀金属薄膜温度场刻蚀深度
- 一种滚珠表面镀膜的装置
- 本发明公开了一种滚珠表面镀膜的装置。本发明采用将上转盘通过限位孔与固定架固定,而下转盘与旋转轴相连的方式,即下转盘转动,上转盘固定不动,使得滚珠的各表面与旋转轴的旋转中心的距离不一样,进而导致滚珠的自转,使得直线传播的膜...
- 赵栋才肖更竭马占吉武生虎任妮
- 文献传递
- 激光刻蚀2μm铝/聚酰亚胺(PI)材料体系技术研究被引量:3
- 2018年
- 目的研究对激光刻蚀图形形貌可能产生影响的几个参数,如激光功率、填充比等,优化激光束刻蚀制备2μm铝膜/PI的工作参数,提高刻蚀质量。方法利用ANSYS软件对激光刻蚀2μm铝膜/PI过程中薄膜铝表面的能量传输及转化过程进行模拟,了解刻蚀形貌与单个脉冲的激光工艺参数的关系。根据模拟结果,使用LSP2000激光器,采用不同的激光输出功率和扫描方式、填充比等参数对样品进行刻蚀。利用扫描电镜等对激光刻蚀制备后的样品表面形貌进行研究,从而获得优化工艺参数。结果采用波长为1064 nm的Nd:YAG激光器,利用蛇形扫描方式及45°方向填充,填充密度为0.03 mm,在激光功率5 W、激光频率20 kHz、脉宽100 ns、光斑直径40μm、激光扫描速度为565.7 mm/s的工艺参数下,刻蚀边界整齐。结论纳秒刻蚀过程既有光热去除,也有应力去除,激光刻蚀工艺参数的优化在一定程度上改善了刻蚀边界质量,有利于提高激光刻蚀精度。
- 刘孝丽熊玉卿周利成王瑞钟浩任立庆任妮
- 一种改善管状基底内表面沉积薄膜均匀性的方法
- 本发明公开了一种改善管状基底内表面沉积薄膜均匀性的方法,(1)将管状基底放置于反应室内,将侧壁上均匀分布有若干通孔的进气管置于所述管状基底内;(2)对管状基底进行加热;(3)通过所述进气管向反应室内通入反应前驱体进行镀膜...
- 熊玉卿任妮王济洲冯煜东赵栋才
- 文献传递
- 金属薄膜/有机材料基体系激光刻蚀研究
- 激光刻蚀技术用于卫星天线的制造,用于刻蚀由不同材料体系组成天线表面的金属薄膜,由于金属、有机材料各层对激光的热和光物理特性存在很大的差异,因而每层材料的物理特性对激光刻蚀的结果产生影响.基于在多层材料表面金属薄膜激光刻蚀...
- 王瑞陈学康任妮吴敢杨建平曹生珠
- 关键词:卫星天线金属薄膜激光刻蚀
- 文献传递
- 碳纤维复合材料表面真空镀导电薄膜技术
- 马占吉武生虎任妮肖更竭赵栋才冯煜东许旻王多书洪惠英魏杰郑静昕
- 该项目结合应用需求和碳纤维复合材料表面真空镀导电薄膜技术缺乏的现状,开展了在碳纤维复合材料表面采用真空电弧离子镀法镀制导电薄膜的技术研究。通过技术攻关,在大面积碳纤维复合材料工件表面沉积导电薄膜。该项目研究获得的技术已经...
- 关键词:
- 关键词:碳纤维复合材料导电薄膜真空镀
- 一种在管状基底内表面沉积薄膜的方法
- 本发明公开了一种在管状基底内表面沉积薄膜的方法,包括下列步骤:将需镀膜的管状基底置于反应室内,将反应室抽真空;向反应室内通入第一种反应前驱体;向反应室内通入惰性气体,将未吸附的多余前第一种反应前驱体排出反应室;向反应室内...
- 熊玉卿任妮王济洲冯煜东马占吉
- 文献传递
- 金属薄膜/有机材料基体系激光刻蚀研究(英文)被引量:3
- 2013年
- 激光刻蚀技术用于卫星天线的制造,用于刻蚀由不同材料体系组成天线表面的金属薄膜,由于金属、有机材料各层对激光的热和光物理特性存在很大的差异,因而每层材料的物理特性对激光刻蚀的结果产生影响。基于在多层材料表面金属薄膜激光刻蚀的物理机制,通过讨论和分析实验结果,发现激光刻蚀的物理过程主要受有机材料和金属薄膜之间界面效应的影响,为获得锐利和对有机材料无损伤的刻蚀效果,在金属薄膜和有机材料之间增加厚度约为200 nm的Cr过渡层可提高激光刻蚀的质量,而界面处的有机过渡层应选择对刻蚀激光波长高透过率的材料。
- 王瑞陈学康任妮吴敢杨建平曹生珠
- 关键词:激光刻蚀
- 矩形截面细长管状基底内表面原子层沉积模型
- 利用气体吸附动力学理论,分析了利用原子层沉积技术在长径比大于50的细长管状基底内表面镀制薄膜的可行性。研究表明,该技术途径是可行的,可在管道内表面镀制厚度均匀的薄膜。并建立了管状基底内表面原子层沉积模型
- 熊玉卿任妮
- 文献传递