李小换
- 作品数：6 被引量：9H指数：2
- 供职机构：航天长征火箭技术有限公司更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 压力、温度复合传感器技术研究
- 介绍了一种压力、温度复合传感器的主要研制加工技术。通过采用灵敏度温度自补偿技术、激光调阻技术、以及薄膜微电路加工工艺等关键技术和手段,在弹性体上制作薄膜应变电阻和薄膜温敏电阻,实现压力、温度双参数测量的功能.同时通过监测...
- 邹其利滕纲李小换张世名
- 关键词：压力传感器温度传感器复合传感器参数测量
- 文献传递
- 灵敏度温度自补偿薄膜压力传感器的研制
- 溅射薄膜压力传感器具有长期稳定性好、耐高温等优点,但是由于受弹性体材料自身特性的影响,传感器的灵敏度温度误差大,大约在＜1.5～2×10-4/F.S℃,是导致传感器测量误差大的原因之一.在弹性体上设计加工灵敏度温度补偿,...
- 李小换张世名邹其利郭志萍
- 关键词：薄膜压力传感器敏感元件
- 文献传递
- 超低温薄膜压力传感器的研究被引量：7
- 2009年
- 超低温薄膜压力传感器可用于液氢、液氮、液氧等低温环境的压力测量,目前国内外超低温压力传感器产品的工作温度最低为-200℃.文中主要介绍了对超低温薄膜压力传感器的研究,通过薄膜压力传感器设计和工艺技术研究,成功研制出超低温薄膜压力传感器,并在-253(液氢)～+60℃温度环境下进行压力传感器静态性能测试,结果表明传感器性能指标优异,实现了超低温薄膜压力传感器技术突破。
- 李小换邹其利张世名
- 关键词：液氢
- 超低温薄膜压力传感器的研究
- 超低温薄膜压力传感器可用于液氢、液氮、液氧等低温环境的压力测量,目前国内外超低温压力传感器产品的工作温度最低为-200 ℃。文中主要介绍了对超低温薄膜压力传感器的研究,通过薄膜压力传感器设计和工艺技术研究,成功研制出超低...
- 李小换邹其利张世名
- 关键词：压力传感器静态性能
- 文献传递
- 压力、温度复合传感器技术研究被引量：4
- 2009年
- 介绍了一种压力、温度复合传感器的主要研制加工技术。通过采用灵敏度温度自补偿技术、激光调阻技术、以及薄膜微电路加工工艺等关键技术和手段,在弹性体上制作薄膜应变电阻和薄膜温敏电阻,实现压力、温度双参数测量的功能。同时通过监测温度,可以进一步精确修正压力参数测量的特性方程。
- 邹其利滕纲李小换张世名
- 关键词：温度
- 浸入式超低温压力传感器的研究
- 2022年
- 在航天液氢/液氧发动机测控领域,实时获取准确的低温推进剂管路压力参数至关重要。为提高低温压力参数测量的准确性,研制了一种浸入式超低温压力传感器。该压力传感器敏感膜片集成了应变电阻、灵敏度温度自补偿电阻和测温电阻,通过灵敏度温度自补偿技术、压力/温度复合测量技术,实时对产品零点及灵敏度温度误差进行原位补偿,实现低温推进剂压力的高精度测量。
- 曲祥军李小换张姗王建尹玉刚
