尹玉刚
- 作品数：12 被引量：9H指数：2
- 供职机构：航天长征火箭技术有限公司更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信航空宇航科学技术石油与天然气工程更多>>
- 一种用于超高温环境下的SiC绝压腔制备方法
- 本发明一种用于超高温环境下的SiC绝压腔制备方法，本发明主要是在SiC片上通过ICP（等离子刻蚀）刻蚀得到腔体图形，再利用HF酸去除SiC表面本征氧化层，最后通过高温热压退火制备出用于高温环境下的SiC绝压腔，本发明提高...
- 曹正威尹玉刚邹江波张世名赵广宏许姣
- 文献传递
- 一种激光直写逆向移印制备大面积柔性温度传感阵列方法
- 本发明提供一种激光直写逆向移印制备大面积柔性温度传感阵列方法，采用激光选择性加固功能薄膜与衬底的界面结合力；采用激光弱化选择区外的薄膜与衬底的界面结合力；采用印章选择性的移除非选择区域的薄膜材料。本发明采用激光增强了图形...
- 欧阳韬源方静何干辉刘建华冯红亮尹玉刚彭泳卿
- 可用于数字标定、编程、模拟输出的传感器自适应多模接口电路
- 随着传感器向着数字化、智能化发展,传统的模拟电路已经越来越多地被数字电路、微控制器取代,尤其是一些传感器自身需要完成一系列的数学运算,如高阶矫正、温度解耦、滤波等,最后以模拟信号的形式输出.因此,编程、参数标定、模拟输出...
- 刘琦李晨尹玉刚
- 关键词：传感器接口电路自适应信号识别
- 文献传递
- 宽温度范围的电容式传感器信号检测电路
- 桥式微电容检测电路具有较高的分辨率和抗干扰能力以及较快的响应频率,但因为二极管动态压降、导通角等容易受温度影响的参数难以实现精确补偿,所以该类电路不适用与直接工作在宽温度范围内.本文对此进行了改进,包括采用包括双平衡式二...
- 刘琦尹玉刚王明明张世名
- 关键词：电容式传感器宽温度范围自动增益控制
- SiC高温电容压力传感器封装结构优化被引量：1
- 2013年
- 高温压力传感器,在航空航天及工业领域有广阔的应用前景。由于工作在高温环境中,需要进行封装结构和优化,以减小器件因热膨胀系数不匹配而产生的热应力。以热机械方程为理论基础,利用ANSYS Workbench计算机仿真工具,通过计算被封装元件表面的Von-Mises应力,调整衬底直径、衬底厚度以及粘合层厚度,对封装结构进行优化实验,结果表明,采用优化后的封装结构,传感器工作于500℃时,敏感元件中心应力值减小为原来的0.37%,器件的稳定性得到大幅提高。
- 屈晓南胡明张世名尹玉刚
- 关键词：高温压力传感器热应力结构优化计算机仿真
- 一种自驱动热控蒙皮及其激光直写制备方法
- 本发明提供一种自驱动热控蒙皮及其激光直写制备方法，结构包括聚酰亚胺衬底，连接在聚酰亚胺衬底上表面局部、下表面局部的铜膜，开设在聚酰亚胺衬底中的过孔，分别连接在过孔内表面的P型热电材料金属膜、N型热电材料金属膜和封装在外部...
- 欧阳韬源王丰刘岩马永成刘建华何干辉冯红亮尹玉刚彭泳卿
- 一种用于超高温环境下的SiC绝压腔制备方法
- 本发明一种用于超高温环境下的SiC绝压腔制备方法，本发明主要是在SiC片上通过ICP（等离子刻蚀）刻蚀得到腔体图形，再利用HF酸去除SiC表面本征氧化层，最后通过高温热压退火制备出用于高温环境下的SiC绝压腔，本发明提高...
- 曹正威尹玉刚邹江波张世名赵广宏许姣
- 文献传递
- 4H-SiC MEMS高温电容式压力敏感元件设计被引量：5
- 2015年
- 为了研制Si C高温电容式MEMS压力敏感元件以满足高温环境下压力参数测量,设计了一种基于P型4H-Si C减薄抛光工艺制备高温变间隙电容式压力传感器敏感元件结构方法;通过数值仿真,研究了敏感元件的性能,得到敏感元件输出电容随压力、温度的变化曲线;通过微机械加工工艺制备出了Si C电容式高温压力传感器敏感元件,研制出Si C电容式高温压力传感器原理样机,通过模拟高温压力传感器样机工作环境,搭建了高温微压测试平台并对原理样机进行性能测试;结果显示,样机在873.15 K下能够正常工作,灵敏度为18.7 f F/k Pa,非线性为12.60%,迟滞为0.47%,能够满足解调电路拾取压力信号.
- 曹正威尹玉刚许姣张世名邹江波
- 关键词：4H-SICMEMS高温压力传感器
- 基于声表面波的全石英压力传感器研究
- 2024年
- 针对谐振器集成结构中压力和温度参量的非线性耦合问题,本文提出了一种改进的双腔室结构的声表面波温度压力复合传感器,开展了声表面波全石英压力传感器的设计与实验研究。本文基于有限元方法和微扰理论分析了石英基声表面波压力传感器的响应机理,利用耦合模理论优化设计了三谐振器型敏感元件,采用玻璃浆料键合实现了石英跨引线气密封装,实现了声表面波全石英压力传感器的制备。测试结果表明:所研制的声表面波全石英压力传感器在0℃~120℃工作温度范围内,压力量程为0~500 kPa,线性度为0.415%FS,压力灵敏度为-551 kHz/MPa,其灵敏度温度系数为-0.134%。该声表面波全石英压力传感器的研制为后续实现传感器的无线无源测量奠定了基础。
- 骆伟郝文昌都磊尹玉刚
- 关键词：声表面波压力传感器
- 一种基于转接板的无引线压力传感器及其制备方法
- 本发明提供一种基于转接板的无引线压力传感器及其制备方法，基于转接板的无引线压力传感器包括：无引线压力敏感芯片、转接板、绝缘基座、金属插针、金属外壳、保护帽；转接板上设置有定位标识线和定位夹持槽，用于装配对准；转接板上设置...
- 杨健 杨丹许姣 刘铁钢 都磊 王晓宇 张睿 母明浩 陈春明 郝文昌尹玉刚彭泳卿
