张琦
- 作品数：4 被引量：8H指数：2
- 供职机构：西安电力电子技术研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 刻蚀设备中射频功率全态输出技术的研究
- 2018年
- 本文主要讲述了刻蚀设备在进行工艺时,射频发生器产生的射频信号输出到自动匹配网络,然后输入到工艺腔室的下电极。在整个刻蚀过程中,反射功率无限小,射频功率全态输出,不仅损耗减少,而且可以提高刻蚀效率。
- 赵涛陈黄鹂张琦赵卫
- 关键词：反射功率
- 基于PLC网络通信的喷射腐蚀机控制系统的研究被引量：4
- 2013年
- 介绍了功率半导体工艺设备——喷射腐蚀机的控制系统构成,应用PLC网络通信理论,给出了网络拓扑图,构建了基于MPI和Profibus总线的多网络混合型网络系统,通过创建链接和编制网络通信程序,实现了对高精度喷射腐蚀机的自动控制,满足了功率半导体器件对厚硅、厚铝刻蚀的各项特殊功能需要。
- 马宁强张琦赵涛
- 关键词：功率半导体器件PROFIBUS-DP通信
- 基于直线位移传感器的机械手柔性控制被引量：4
- 2013年
- 在双极性功率半导体器件如晶闸管的制造工艺中,需要对经过激光割圆工艺切割后的芯片进行喷砂整形,以符合后续工艺对外观形状的精密要求,目前工艺中使用的喷砂设备的喷嘴进给系统均采用手动丝杆调节,难以保证加工的一致性和精度要求。现采用直线位移传感器作为进给位置反馈元件,伺服系统作为执行机构,应用自动控制理论,设计包含速度控制内环和位移控制外环的双闭环机械手系统,该系统能采样并模拟人工连续进给柔性操作过程,实现工艺过程的智能化,提高了产品的加工制造水平。
- 马宁强张琦
- 关键词：功率半导体伺服控制
- 特高压晶闸管掺杂技术研究
- 2014年
- 特高压晶闸管半导体芯片主要通过掺杂技术形成。高均匀性、高寿命掺杂技术是获得高品质特高压晶闸管的根本保证。本文通过一系列大胆的创新方法和先进"6σ设计[1]"的控制措施,成功研制了世界上首只6英寸4000A/8000V特高压晶闸管,并成功应用于"向家坝-上海±800KV/6400MW"特高压直流输电示范工程中。
- 高山城罗艳红张琦吴飞鸟高飞
- 关键词：晶闸管特高压直流输电
