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陈立国

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：山东理工大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

主题

  • 4篇压电
  • 4篇压电陶瓷
  • 4篇拾取
  • 4篇芯片
  • 4篇键合
  • 2篇组件
  • 2篇晶圆
  • 2篇机械臂
  • 2篇感知
  • 2篇存储组件

机构

  • 4篇山东理工大学

作者

  • 4篇魏修亭
  • 4篇肖春雷
  • 4篇陈立国
  • 4篇刘曰涛
  • 4篇孙立宁

年份

  • 2篇2014
  • 2篇2012
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种芯片传输机械臂
一种芯片传输机械臂，通过真空吸附对芯片进行拾取和释放，然后通过集成在机械臂后端的压电陶瓷对施加的压力进行测量，从而使芯片操作过程中保证操作精度和施加适当的键合压力；采用两个感应铜柱端面互相接触，防止了真空吸头在重力作用下...
刘曰涛魏修亭肖春雷孙立宁陈立国
文献传递
一种芯片和晶圆的键合设备
一种芯片和晶圆的键合设备，该键合设备包括晶圆台、存储组件、操作手、显微系统以及控制系统，采用多个自由度的电机模块实现精确定位，通过显微系统对芯片位姿进行识别检测，真空吸附操作手对芯片进行拾取和释放，然后通过集成在操作手后...
刘曰涛魏修亭肖春雷孙立宁陈立国
文献传递
一种芯片传输机械臂
一种芯片传输机械臂，通过真空吸附对芯片进行拾取和释放，然后通过集成在机械臂后端的压电陶瓷对施加的压力进行测量，从而使芯片操作过程中保证操作精度和施加适当的键合压力；采用两个感应铜柱端面互相接触，防止了真空吸头在重力作用下...
刘曰涛魏修亭肖春雷孙立宁陈立国
文献传递
一种芯片和晶圆的键合设备
一种芯片和晶圆的键合设备，该键合设备包括晶圆台、存储组件、操作手、显微系统以及控制系统，采用多个自由度的电机模块实现精确定位，通过显微系统对芯片位姿进行识别检测，真空吸附操作手对芯片进行拾取和释放，然后通过集成在操作手后...
刘曰涛魏修亭肖春雷孙立宁陈立国
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