2024年8月23日
星期五
|
欢迎来到南京江宁区图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
刘沁
作品数:
13
被引量:19
H指数:2
供职机构:
沈阳仪器仪表工艺研究所
更多>>
相关领域:
自动化与计算机技术
更多>>
合作作者
张春晓
沈阳仪器仪表工艺研究所
唐慧
沈阳仪器仪表工艺研究所
庞世信
沈阳仪器仪表工艺研究所
吕忠刚
沈阳仪器仪表工艺研究所
刘妍
沈阳仪器仪表工艺研究所
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
6篇
期刊文章
5篇
会议论文
2篇
专利
领域
7篇
自动化与计算...
主题
11篇
感器
11篇
传感
11篇
传感器
7篇
压力传感器
7篇
力传感器
6篇
扩散硅
3篇
扩散硅压力传...
3篇
硅压力传感器
3篇
封装
3篇
差压
2篇
变送器
2篇
差压传感器
1篇
电机
1篇
多边形
1篇
压阻
1篇
压阻式
1篇
研磨机
1篇
应变式
1篇
真空
1篇
数控
机构
13篇
沈阳仪器仪表...
作者
13篇
刘沁
4篇
张春晓
3篇
吕忠刚
3篇
庞世信
3篇
唐慧
2篇
刘妍
1篇
匡石
1篇
张纯棣
1篇
季安
1篇
李颖
1篇
刘宏伟
1篇
张治国
1篇
孙海玮
1篇
徐淑霞
传媒
5篇
仪表技术与传...
2篇
第六届全国敏...
1篇
仪器仪表用户
1篇
第八届敏感元...
1篇
中国仪器仪表...
1篇
第五届全国敏...
年份
2篇
2003
1篇
2001
2篇
1999
2篇
1997
3篇
1996
2篇
1994
1篇
1991
共
13
条 记 录,以下是 1-10
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
多边形三杯双岛复合压力传感器
一种多边形三杯双岛复合压力传感器,它包括基体,用于测量差压的敏感电阻,用于测量静压的敏感电阻,温度敏感电阻和膜片,在基体上设置一个多边双岛形的凹槽和两个方形的凹槽,用于测量静压的敏感电阻布置在方形凹槽的中线和另外一方形凹...
庞世信
唐慧
徐淑霞
刘沁
吕忠刚
文献传递
采用步进电机、蜗轮副、精密丝杠实现数控进给
被引量:1
1991年
本文提出了在硅杯加工设备上采用计算机控制步进电机,通过蜗轮副与精密丝杠传动,实现平稳的高精度进给的方法。介绍了实现数控进给的机械原理,分析了进给精度与误差。
刘沁
关键词:
步进电机
数控系统
研磨机
DFJ-Ⅲ 型双面真空静电封接机的研究
被引量:1
1997年
真空静电封接机是硅压阻式传感器制造技术中的关键设备之一。它可实现硅压阻芯片的无应力、无蠕变封装,以保证硅压阻式传感器特有的高灵敏度、高精度特性。本文介绍了新近研制成的DFJ-Ⅲ型双面真空静电封接机的主要技术指标、封接机理、结构特点以及解决的主要关键技术。同时给出了用该设备封接的元件的性能测试指标。
刘沁
张春晓
吴雅翠
关键词:
硅压阻式
传感器
真空
扩散硅OEM压力传感器的研究
对OEM压力传感器及OEM压力传感器的工作原理和结构设计进行了探讨,同时结合自己的工作给出了现已生产的OEM压力传感器的精度和分析。介绍了OEM传感器的广阔前景和应用领域。
刘沁
庞世信
关键词:
压力传感器
扩散硅压力传感器结构设计及封装工艺研究
被引量:8
1996年
本文比较详细地探讨了现今应用很广的几种扩散硅压力传感器的结构及封装工艺,提出了全固态隔离膜片结构的基本封装形式,并对传感器结构设计和封装时必须注意的问题和基本参数进行了探讨。
刘沁
吕忠钢
陈艳文
关键词:
扩散硅
压力传感器
传感器
扩散硅压力传感器结构设计及封装工艺研究
刘沁
吕忠钢
关键词:
压力传感器
封装工艺
扩散硅
新型差压传感器的研制
提出了一种适合小型差压变送器使用的体积小,价格廉的新型差压传感器。并对它的工作原理、结构设计和相关的工艺技术进行了探讨。同时结合研究工作给出了零点,灵敏度补偿网络和主要技术指标。介绍了其良好的市场前景和广阔的应用领域。
刘沁
张春晓
唐慧
刘妍
关键词:
差压传感器
扩散硅
过载保护
差压传感器
一种差压传感器,包括补偿板组件1、中间有芯片构成的传感器组件8,其特征是传感器组件8与环状基座7焊成一体,将传感器组件8的引线软带6从基座7侧壁孔引出,中心小仿形体9嵌于传感器组件8和基座7之间;两个中心膜片10焊在基座...
孙海玮
刘沁
唐慧
季安
张治国
李颖
文献传递
高精度4'硅片腐蚀装置的研究
高精度4'硅片腐蚀装置是采用硅微机械制造技术(MEMT)和硅微电子机械系统(MEMS)制造硅传感器的关键设备之一.它采用计算机智能控制,一次可自动完成多片4'硅片的各向异性腐蚀,无需人工控制,腐蚀一致性好,效率高.本文结...
刘沁
张纯棣
匡石
关键词:
微机械系统
MEMS
传感器
各向异性腐蚀
硅
文献传递
全固态通用型压力传感器、变送器
1994年
全固态通用型压力传感器、变送器沈阳仪器仪表工艺研究所庞世信,刘沁,吕忠刚扩散硅压力传感器与应变式等其它类型压力传感器相比具有很多优点,多年来一直是人们关注的重点。国外目前已形成了系列化和通用化的产品,国内近些年来在扩散硅压力传感器开发和应用上也取得了...
庞世信
刘沁
吕忠刚
关键词:
压力传感器
变送器
应变式
传感器应用
敏感元件
硅膜
全选
清除
导出
共2页
<
1
2
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张