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刘沁

作品数：13 被引量：19H指数：2
供职机构：沈阳仪器仪表工艺研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇期刊文章
  • 5篇会议论文
  • 2篇专利

领域

  • 7篇自动化与计算...

主题

  • 11篇感器
  • 11篇传感
  • 11篇传感器
  • 7篇压力传感器
  • 7篇力传感器
  • 6篇扩散硅
  • 3篇扩散硅压力传...
  • 3篇硅压力传感器
  • 3篇封装
  • 3篇差压
  • 2篇变送器
  • 2篇差压传感器
  • 1篇电机
  • 1篇多边形
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻式
  • 1篇研磨机
  • 1篇应变式
  • 1篇真空
  • 1篇数控

机构

  • 13篇沈阳仪器仪表...

作者

  • 13篇刘沁
  • 4篇张春晓
  • 3篇吕忠刚
  • 3篇庞世信
  • 3篇唐慧
  • 2篇刘妍
  • 1篇匡石
  • 1篇张纯棣
  • 1篇季安
  • 1篇李颖
  • 1篇刘宏伟
  • 1篇张治国
  • 1篇孙海玮
  • 1篇徐淑霞

传媒

  • 5篇仪表技术与传...
  • 2篇第六届全国敏...
  • 1篇仪器仪表用户
  • 1篇第八届敏感元...
  • 1篇中国仪器仪表...
  • 1篇第五届全国敏...

年份

  • 2篇2003
  • 1篇2001
  • 2篇1999
  • 2篇1997
  • 3篇1996
  • 2篇1994
  • 1篇1991
共 13 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
多边形三杯双岛复合压力传感器
一种多边形三杯双岛复合压力传感器，它包括基体，用于测量差压的敏感电阻，用于测量静压的敏感电阻，温度敏感电阻和膜片，在基体上设置一个多边双岛形的凹槽和两个方形的凹槽，用于测量静压的敏感电阻布置在方形凹槽的中线和另外一方形凹...
庞世信唐慧徐淑霞刘沁吕忠刚
文献传递
采用步进电机、蜗轮副、精密丝杠实现数控进给被引量：1
1991年
本文提出了在硅杯加工设备上采用计算机控制步进电机,通过蜗轮副与精密丝杠传动,实现平稳的高精度进给的方法。介绍了实现数控进给的机械原理,分析了进给精度与误差。
刘沁
关键词：步进电机数控系统研磨机
DFJ-Ⅲ 型双面真空静电封接机的研究被引量：1
1997年
真空静电封接机是硅压阻式传感器制造技术中的关键设备之一。它可实现硅压阻芯片的无应力、无蠕变封装，以保证硅压阻式传感器特有的高灵敏度、高精度特性。本文介绍了新近研制成的ＤＦＪ－Ⅲ型双面真空静电封接机的主要技术指标、封接机理、结构特点以及解决的主要关键技术。同时给出了用该设备封接的元件的性能测试指标。
刘沁张春晓吴雅翠
关键词：硅压阻式传感器真空
扩散硅OEM压力传感器的研究
对ＯＥＭ压力传感器及ＯＥＭ压力传感器的工作原理和结构设计进行了探讨，同时结合自己的工作给出了现已生产的ＯＥＭ压力传感器的精度和分析。介绍了ＯＥＭ传感器的广阔前景和应用领域。
刘沁庞世信
关键词：压力传感器
扩散硅压力传感器结构设计及封装工艺研究被引量：8
1996年
本文比较详细地探讨了现今应用很广的几种扩散硅压力传感器的结构及封装工艺,提出了全固态隔离膜片结构的基本封装形式,并对传感器结构设计和封装时必须注意的问题和基本参数进行了探讨。
刘沁吕忠钢陈艳文
关键词：扩散硅压力传感器传感器
扩散硅压力传感器结构设计及封装工艺研究
刘沁吕忠钢
关键词：压力传感器封装工艺扩散硅
新型差压传感器的研制
提出了一种适合小型差压变送器使用的体积小，价格廉的新型差压传感器。并对它的工作原理、结构设计和相关的工艺技术进行了探讨。同时结合研究工作给出了零点，灵敏度补偿网络和主要技术指标。介绍了其良好的市场前景和广阔的应用领域。
刘沁张春晓唐慧刘妍
关键词：差压传感器扩散硅过载保护
差压传感器
一种差压传感器，包括补偿板组件1、中间有芯片构成的传感器组件8，其特征是传感器组件8与环状基座7焊成一体，将传感器组件8的引线软带6从基座7侧壁孔引出，中心小仿形体9嵌于传感器组件8和基座7之间；两个中心膜片10焊在基座...
孙海玮刘沁唐慧季安张治国李颖
文献传递
高精度4'硅片腐蚀装置的研究
高精度4'硅片腐蚀装置是采用硅微机械制造技术(MEMT)和硅微电子机械系统(MEMS)制造硅传感器的关键设备之一.它采用计算机智能控制,一次可自动完成多片4'硅片的各向异性腐蚀,无需人工控制,腐蚀一致性好,效率高.本文结...
刘沁张纯棣匡石
关键词：微机械系统MEMS传感器各向异性腐蚀硅
文献传递
全固态通用型压力传感器、变送器
1994年
全固态通用型压力传感器、变送器沈阳仪器仪表工艺研究所庞世信，刘沁，吕忠刚扩散硅压力传感器与应变式等其它类型压力传感器相比具有很多优点，多年来一直是人们关注的重点。国外目前已形成了系列化和通用化的产品，国内近些年来在扩散硅压力传感器开发和应用上也取得了...
庞世信刘沁吕忠刚
关键词：压力传感器变送器应变式传感器应用敏感元件硅膜
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