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吕忠刚
作品数:
3
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供职机构:
沈阳仪器仪表工艺研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
刘沁
沈阳仪器仪表工艺研究所
庞世信
沈阳仪器仪表工艺研究所
徐淑霞
沈阳仪器仪表工艺研究所
唐慧
沈阳仪器仪表工艺研究所
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仪表技术与传...
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仪器仪表用户
年份
1篇
1996
2篇
1994
共
3
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多边形三杯双岛复合压力传感器
一种多边形三杯双岛复合压力传感器,它包括基体,用于测量差压的敏感电阻,用于测量静压的敏感电阻,温度敏感电阻和膜片,在基体上设置一个多边双岛形的凹槽和两个方形的凹槽,用于测量静压的敏感电阻布置在方形凹槽的中线和另外一方形凹...
庞世信
唐慧
徐淑霞
刘沁
吕忠刚
文献传递
全固态通用型压力传感器、变送器
1994年
全固态通用型压力传感器、变送器沈阳仪器仪表工艺研究所庞世信,刘沁,吕忠刚扩散硅压力传感器与应变式等其它类型压力传感器相比具有很多优点,多年来一直是人们关注的重点。国外目前已形成了系列化和通用化的产品,国内近些年来在扩散硅压力传感器开发和应用上也取得了...
庞世信
刘沁
吕忠刚
关键词:
压力传感器
变送器
应变式
传感器应用
敏感元件
硅膜
扩散硅传感器硅油充灌装置的研究
1994年
在高精度扩散硅传感器的生产中,急需采用一种净化好、充灌效率高的硅油充灌装置来满足生产需要。该装置解决了扩散硅传感器的硅油净化和充灌问题,满足了传感器隔离膜片对感受到的介质压力进行无损传递的要求,提高了扩散硅传感器的精度,特别是扩散硅传感器的温度特性和长期稳定性。本文介绍了该装置的工作原理、结构和几个技术问题。
刘沁
吕忠刚
关键词:
扩散硅
压力传感器
硅油
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