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吴倩

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：上海理工大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇英文
  • 1篇偏压
  • 1篇显微组织
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米晶
  • 1篇溅射
  • 1篇HALL-P...
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇上海理工大学

作者

  • 1篇李翔
  • 1篇刘颍龙
  • 1篇陈爱英
  • 1篇潘登
  • 1篇吴倩
  • 1篇刘芳

传媒

  • 1篇Transa...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
偏压对钛薄膜显微组织及力学性能的影响(英文)被引量：5
2014年
为了研究纳米结构金属Ti的纳米力学性能,在偏压为0-140 V的范围内,采用磁控溅射方法制备纯钛薄膜。并采用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和高分辨率透射电子显微镜（HRTEM）表征钛薄膜的显微组织。结果表明：钛薄膜呈现非晶与纳米晶的混合结构,且晶化程度随着偏压的升高而增大。纳米压痕测试结果表明：钛薄膜的硬度与晶粒尺寸在6-15 nm的范围内符合Hall-Petch关系。但其Hall-Petch关系的斜率与采用其他强烈塑性变形法制备的超细晶纯钛相比,明显偏小,且呈现软化趋势。此外,讨论偏压对钛薄膜生长取向的影响。
刘颍龙刘芳吴倩陈爱英李翔潘登
关键词：磁控溅射偏压纳米晶HALL-PETCH关系
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