秦涛
- 作品数：29 被引量：29H指数：4
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院知识创新工程中国科学院知识创新工程重要方向项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学机械工程更多>>
- 提高微细图形光刻分辨力的相移滤波技术研究被引量：4
- 2003年
- 详细研究了提高投影成像光刻分辨力的相移滤波技术的基本理论 ,给出了理论模型 ,进行了模拟计算 .对不同掩模图形设计制作的不同优化滤波器进行光刻对比实验并取得实验结果 .研究表明 ,相移滤波能显著提高部分相干成像系统光刻分辨力和增大焦深 ,同时能提高光能利用率 ,有利于提高光刻生产率 ,是一种有效提高光刻分辨力和焦深的波前工程技术 .
- 陈旭南石建平康西巧罗先刚秦涛
- 关键词：光能利用率
- 可操纵光子的人工晶体材料——光子晶体
- 光子晶体具有操控光子行为的独特能力,在众多领域有着广泛的用途.其研究发展仅十余年时间,目前已是很多国家竞相追逐的热点.本文介绍了光子晶体的结构特征,分析了光子晶体的独特性质—光子禁带产生的物理机理,并着重介绍了光子禁带引...
- 石建平陈旭南张小玉安卫军张磊秦涛
- 关键词：光子晶体光子禁带人工晶体材料
- 文献传递
- 一种两轴Bipod柔性支撑柔度测量装置及测试方法
- 本发明公开了一种两轴Bipod柔性支撑柔度测量装置及测试方法，包括：支撑Bipod的可快速组合工装底板(1)、定位于Bipod支撑接头侧边的L臂形拉力板(6)、与待测部件几何中心对准的圆锥探头推力计(8)、倒挂在L臂形拉...
- 亓波栗振闯秦涛郭骏立韩培仙张美丽王进李含李馨
- 一种两轴Bipod柔性支撑柔度测量装置及测试方法
- 本发明公开了一种两轴Bipod柔性支撑柔度测量装置及测试方法，包括：支撑Bipod的可快速组合工装底板(1)、定位于Bipod支撑接头侧边的L臂形拉力板(6)、与待测部件几何中心对准的圆锥探头推力计(8)、倒挂在L臂形拉...
- 亓波栗振闯秦涛郭骏立韩培仙张美丽王进李含李馨
- 全息片质量对原子全息光刻图形影响的模拟研究
- 2003年
- 全息片质量是影响原子全息光刻再现图形质量的关键因素,然而其制作工艺复杂,工序繁多,质量难以控制,模拟研究有助于把握全息片制作工艺中的关键环节,提高全息片的质量。详细模拟了全息片的三个主要质量指标:刻透率、分辨力以及薄膜厚度对再现像质的影响,结果表明:刻透率控制在90%左右即可满足要求,分辨率应优于0.1μm,膜层应尽量均匀。
- 石建平陈旭南陈献忠高洪涛陈元培秦涛
- 关键词：分辨力薄膜厚度
- 塑钞亚波长光栅导模共振防伪标记及其制作方法
- 一种塑钞亚波长光栅导模共振防伪标记，由塑钞(币)基板(1)、可视见图案(2)、防伪标记区域(3)、区域内的字、字母或图形(4)和塑钞(币)的覆盖层组成，其特征在于：防伪区域(3)中有特定方向范围内可视见的具有防伪功能的字...
- 陈旭南秦涛罗先刚
- 文献传递
- 塑抄亚波长光栅导模共振防伪标记及其制作方法
- 一种塑抄亚波长光栅导模共振防伪标记，由塑抄(币)基板(1)、可视见图案(2)、防伪标记区域(3)、区域内的字、字母或图形(4)和塑抄(币)的覆盖层组成，其特征在于：防伪区域(3)中有特定方向范围内可视见的具有防伪功能的字...
- 陈旭南秦涛罗先刚
- 文献传递
- 一种锥形分离便调式导轨的高精度直线调焦机构
- 本发明公开了一种锥形分离便调式导轨的高精度直线调焦机构，作为一种光学系统的高精度直线调焦机构，可仅用中等精度的直线驱动模块为驱动源，以光栅尺为位置反馈单元，通过内、外分离便调式锥形配合的直线导轨实现高精度精确导向。该调焦...
- 侯智芸彭起包奇红秦涛杨智琨侯金鸽
- 金属掩模板
- 本发明是金属掩模板，它由基板加上表面或下表面或上下表面图形相同的铬和金或铜或银或铝金属薄层图形构成，借助光照射具有微细图形结构金属掩模板产生波长很短的等离子波，穿过纳米图形孔和缝传播性质，使一般波长或长波长光穿过纳米金属...
- 陈旭南罗先刚秦涛陈元培杜春雷
- 文献传递
- 星载二维转台结构设计及刚度分析被引量：3
- 2022年
- 星载二维转台是激光通信指向结构的重要组成部分,也是影响星载设备性能的关键部件之一,需要对其进行合理的结构设计和正确的刚度分析,并通过对比试验结果与仿真结果验证设计分析的正确性。首先,介绍了星载二维转台结构形式,基于Isight集成优化方法对比分析了摆镜组件的两种结构形式,并对U形架和轴系结构进行了刚度设计;然后,对二维转台进行有限元建模并重点介绍了轴承的弹簧单元等效建模方式;最后,对星载二维转台进行了刚度分析和试验验证,二维转台在X、Y、Z三个方向上仿真计算的固有频率与试验结果误差在6%以内,表明等效弹簧单元能准确模拟轴承结合部的力学特性。通过对星载二维转台的力学试验验证表明,在保证了二维转台的质量约束和刚度要求下,各部分组成部件结构刚度设计和刚度分析合理,二维转台抗力学性能满足激光通信的任务需求。
- 秦涛秦涛张美丽韩培仙王进张美丽
- 关键词：力学试验
