牛海燕
- 作品数：6 被引量：76H指数：5
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家杰出青年科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程化学工程电子电信更多>>
- 反应烧结碳化硅球面反射镜的光学加工与检测被引量：13
- 2004年
- 介绍了250mm口径、4200mm曲率半径的反应烧结碳化硅球面反射镜光学加工和检测的工艺流程;并按照流程依次介绍了在研磨成型、细磨抛光和精抛光过程中使用的机床、磨具、磨料及采用的工艺参数和检测方法。介绍了在光学加工和检测各个步骤中应注意的问题。展示了加工后250mm口径反应烧结碳化硅球面反射镜的实物照片,并给出了面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度(95%孔径)均方根值(RMS)为0.037波长(λ=632.8nm),表面粗糙度RMS值达到1.92nm(测量区域大小为603.6ⅹ448.4μm)。
- 范镝张忠玉牛海燕丰玉琴张学军
- 关键词：反应烧结碳化硅光学加工面形精度粗糙度空间光学系统
- φ124 mm口径碳化硅质非球面镜面数控研抛技术研究被引量：27
- 2006年
- 介绍了碳化硅质光学镜面的光学加工流程和加工手段,分析了碳化硅光学镜面的光学加工过程各个步骤中所应用的磨料和加工方法。利用自主研制的非球面数控加工中心,探索一种新型轮式研磨抛光技术,解决了中小口径非球面元件的数控加工问题,形成比较规范的中小口径碳化硅非球面元件加工方法,并应用到φ124 mm口径两面均为非球面的碳化硅元件的加工中,工件最终加工精度为第一面:0.761λ(PV)、0.059λ(RMS)(λ=0.632 8μm);第二面:0.834λ(PV)、0.089λ(RMS)(λ=0.632 8μm),满足了设计要求。
- 牛海燕张学军
- 关键词：反应烧结碳化硅数控技术面形精度
- 中小口径非球面元件加工技术的探讨被引量：21
- 2001年
- 结合非球面轮廓检验和抛光工艺技术设备的研究 ,探讨了一种规范化的针对中小口径非球面元件的加工方法 ,并具体分析了实现非球面高效率批量化生产的技术途径 ,为中小非球面元件的广泛应用提供了有利的技术支持。
- 张忠玉张学军牛海燕
- 关键词：非球面镜轮廓仪抛光工艺光学元件
- 碳化硅光学镜面加工被引量：11
- 2003年
- 简要介绍了碳化硅光学镜面的主要应用领域;碳化硅材料的主要物理特性和几种常用的制备方法;比较了碳化硅材料与其他常用光学镜面介质材料的主要物理性质。介绍了碳化硅光学镜面的光学加工的流程和加工手段;比较分析了碳化硅光学镜面的光学加工过程各个步骤中所应用的磨具、磨料和加工方法。讨论了光学加工过程中各个步骤工艺参数的选择和降低碳化硅光学镜面表面粗糙度的途径。最后,简介了美国、俄罗斯和我国在碳化硅反射镜的光学加工方面所取得的成果。
- 范镝张忠玉牛海燕丰玉琴张学军
- 关键词：碳化硅光学镜面光学加工面形精度粗糙度
- 反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工被引量：18
- 2003年
- 介绍了100mm口径反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工工艺流程。按照流程依次介绍了在粗磨成形、细磨抛光和精磨抛光过程中使用的机床、磨具和磨料以及采用的工艺参数和检测方法。介绍了在光学加工各个步骤中应注意的问题。展示了加工后反应烧结碳化硅平面反射镜的实物照片。给出了面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度(95%孔径)均方根值(RMS)为0.030λ(λ=632.8nm),表面粗糙度RMS值达到了1.14nm(测量区域大小为603 6μmⅹ448 4μm)。
- 范镝张学军张忠玉牛海燕丰玉琴
- 关键词：反应烧结碳化硅光学加工面形精度粗糙度平面反射镜
- 大口径碳化硅平面反射镜的数控研磨与在线检测
- 2006年
- 本文介绍了480mm×280mm的船形碳化硅平面反射镜数控研磨的工艺参数的确定和工艺流程;并介绍了在研磨过程中使用的机床、磨具、磨料及采用的工艺参数和检测方法。给出了研磨前后480mm×280mm的船形碳化硅平面反射镜面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度峰谷值(PV)由初始的21.7微米收敛到4.62微米,均方根值(RMS)由3.70微米收敛到0.558微米,并把轮廓检测结果与干涉检测结果进行了比较。
- 牛海燕范镝郑立功张峰张学军
- 关键词：碳化硅反射镜面形精度
