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丰玉琴

作品数:3 被引量:33H指数:3
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金:国家杰出青年科学基金更多>>
相关领域:机械工程化学工程电子电信更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇碳化硅
  • 3篇面形
  • 3篇面形精度
  • 3篇光学
  • 3篇光学加工
  • 3篇粗糙度
  • 2篇反应烧结碳化...
  • 1篇平面反射镜
  • 1篇空间光学
  • 1篇空间光学系统
  • 1篇光学镜面
  • 1篇光学系统
  • 1篇反射镜

机构

  • 3篇中国科学院长...

作者

  • 3篇张忠玉
  • 3篇范镝
  • 3篇丰玉琴
  • 3篇张学军
  • 3篇牛海燕

传媒

  • 2篇光学技术
  • 1篇硅酸盐学报

年份

  • 1篇2004
  • 2篇2003
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工被引量:18
2003年
介绍了100mm口径反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工工艺流程。按照流程依次介绍了在粗磨成形、细磨抛光和精磨抛光过程中使用的机床、磨具和磨料以及采用的工艺参数和检测方法。介绍了在光学加工各个步骤中应注意的问题。展示了加工后反应烧结碳化硅平面反射镜的实物照片。给出了面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度(95%孔径)均方根值(RMS)为0.030λ(λ=632.8nm),表面粗糙度RMS值达到了1.14nm(测量区域大小为603 6μmⅹ448 4μm)。
范镝张学军张忠玉牛海燕丰玉琴
关键词:反应烧结碳化硅光学加工面形精度粗糙度平面反射镜
反应烧结碳化硅球面反射镜的光学加工与检测被引量:13
2004年
介绍了250mm口径、4200mm曲率半径的反应烧结碳化硅球面反射镜光学加工和检测的工艺流程;并按照流程依次介绍了在研磨成型、细磨抛光和精抛光过程中使用的机床、磨具、磨料及采用的工艺参数和检测方法。介绍了在光学加工和检测各个步骤中应注意的问题。展示了加工后250mm口径反应烧结碳化硅球面反射镜的实物照片,并给出了面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度(95%孔径)均方根值(RMS)为0.037波长(λ=632.8nm),表面粗糙度RMS值达到1.92nm(测量区域大小为603.6ⅹ448.4μm)。
范镝张忠玉牛海燕丰玉琴张学军
关键词:反应烧结碳化硅光学加工面形精度粗糙度空间光学系统
碳化硅光学镜面加工被引量:11
2003年
简要介绍了碳化硅光学镜面的主要应用领域;碳化硅材料的主要物理特性和几种常用的制备方法;比较了碳化硅材料与其他常用光学镜面介质材料的主要物理性质。介绍了碳化硅光学镜面的光学加工的流程和加工手段;比较分析了碳化硅光学镜面的光学加工过程各个步骤中所应用的磨具、磨料和加工方法。讨论了光学加工过程中各个步骤工艺参数的选择和降低碳化硅光学镜面表面粗糙度的途径。最后,简介了美国、俄罗斯和我国在碳化硅反射镜的光学加工方面所取得的成果。
范镝张忠玉牛海燕丰玉琴张学军
关键词:碳化硅光学镜面光学加工面形精度粗糙度
共1页<1>
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