杨松涛
- 作品数:3 被引量:14H指数:1
- 供职机构:哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:机械工程电气工程更多>>
- 一种新型压电式双向无阀微泵的研制被引量:14
- 2006年
- 采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式双向无阀微泵,泵的外形尺寸为30×14×3mm3,泵腔体体积约10mm3.通过大量试验测试,得到了泵压、流量与工作频率、波形、电压幅值之间的关系.当工作电压为110V、频率为40Hz时,微泵的正向最大泵压为120mm水柱,频率为50-90Hz时,最大流量70μl/min;当频率为35Hz时,微泵的反向最大泵压为70mm水柱,最大流量56μl/min.
- 王蔚田丽鲍志勇刘晓为王喜莲杨松涛
- 关键词:MEMS压电驱动性能分析
- 一种新型压电式双向无阀微泵的研制
- 本文采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式双向无阀微泵,泵的外形尺寸为30×14×3 mm3,泵腔体体积约10 mm3.通过大量试验测试,得到了泵压、流量与工作频率、波形、电压幅值之间的关系.当工...
- 王蔚田丽鲍志勇刘晓为王喜莲杨松涛
- 关键词:MEMS压电驱动
- 文献传递
- 无刷直流电机无传感器控制系统研究
- 由于无刷直流电机具有十分优良的特性,因而在现实中应用广泛。本文的主要内容就是基于DSP对无刷直流电机的无传感器控制技术进行深入研究,针对无传感器换向延迟和换向转矩脉动问题,提出了一些改进和补偿的方法,通过硬件及软件的设计...
- 杨松涛
- 关键词:电机设计无刷直流电机传感器
- 文献传递