鲍志勇
- 作品数：7 被引量：19H指数：2
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金哈尔滨工业大学跨学科交叉性研究基金资助更多>>
- 相关领域：机械工程电气工程电子电信更多>>
- 一种新型压电式双向无阀微泵的研制被引量：14
- 2006年
- 采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式双向无阀微泵,泵的外形尺寸为30×14×3mm3,泵腔体体积约10mm3.通过大量试验测试,得到了泵压、流量与工作频率、波形、电压幅值之间的关系.当工作电压为110V、频率为40Hz时,微泵的正向最大泵压为120mm水柱,频率为50-90Hz时,最大流量70μl/min;当频率为35Hz时,微泵的反向最大泵压为70mm水柱,最大流量56μl/min.
- 王蔚田丽鲍志勇刘晓为王喜莲杨松涛
- 关键词：MEMS压电驱动性能分析
- 一种新型压电式双向无阀微泵的研制
- 本文采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式双向无阀微泵,泵的外形尺寸为30×14×3 mm3,泵腔体体积约10 mm3.通过大量试验测试,得到了泵压、流量与工作频率、波形、电压幅值之间的关系.当工...
- 王蔚田丽鲍志勇刘晓为王喜莲杨松涛
- 关键词：MEMS压电驱动
- 文献传递
- 影响有阀微泵性能的主要因素研究
- 本研究采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式有阀微泵,泵的外形尺寸为(14×14×3)mm3,泵腔体体积约20mm3,硅阀片厚度在25μm～30μm之间.通过大量试验测试,分析了泵压与工作频率;流...
- 鲍志勇王蔚刘晓为王喜莲
- 关键词：MEMS微泵压电驱动
- 文献传递
- 一种以聚二甲基硅氧烷为基材的芯片简易不可逆键合方法
- 本发明提供的是一种以聚二甲基硅氧烷为基材的芯片简易不可逆键合方法。主要步骤包括：芯片的衬底材料为聚二甲基硅氧烷；将聚二甲基硅氧烷浇注于模具中、固化，再将聚二甲基硅氧烷样品新鲜剥离；将新鲜剥离的聚二甲基硅氧烷芯片组件放入氨...
- 刘晓为王蔚田丽宣雷鲍志勇
- 文献传递
- 压电膜片的优化设计及在微泵中的应用被引量：7
- 2006年
- 压电驱动是微机械系统(MEMS)微执行器最有发展前途的驱动方式之一。该文采用ANSYS有限元软件对压电膜片结构参数和在微执行器上的装配方法进行了优化设计,得到PZT/Si,PZT/Cu压电膜片结构的优化数据,将其应用于有阀微泵的研制。经测试,微泵压电驱动效果与仿真结果一致,微泵背压可达836 Pa,流量达1.4 mL/min。
- 王蔚刘晓为陈伟平鲍志勇
- 关键词：仿真压电驱动膜片微泵
- 一种以聚二甲基硅氧烷为基材的芯片简易不可逆键合方法
- 本发明提供的是一种以聚二甲基硅氧烷为基材的芯片简易不可逆键合方法。主要步骤包括：芯片的衬底材料为聚二甲基硅氧烷；将聚二甲基硅氧烷浇注于模具中、固化，再将聚二甲基硅氧烷样品新鲜剥离；将新鲜剥离的聚二甲基硅氧烷芯片组件放入氨...
- 刘晓为王蔚田丽宣雷鲍志勇
- 文献传递
- 硅基PZT厚膜的MEMS兼容性研究
- 为解决硅基PZT厚膜在作为压电驱动元件时的MEMS兼容性问题,采用丝网印刷方法分别制作了以SiO2,Si3N4,和Pt-Ti/SiO2作为隔离层的硅基PZT厚膜样品,对烧结引起的PZT/隔离层/Si之间的互扩散现象,进行...
- 王蔚刘晓为王喜莲鲍志勇
- 关键词：MEMS
- 文献传递
