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杜亦佳

作品数：83 被引量：23H指数：3
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金：中国工程物理研究院科学技术发展基金国家自然科学基金国家部委资助项目更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 66篇专利
  • 10篇期刊文章
  • 6篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 17篇电子电信
  • 6篇一般工业技术
  • 4篇机械工程
  • 4篇自动化与计算...
  • 4篇理学
  • 2篇电气工程
  • 2篇文化科学
  • 1篇化学工程
  • 1篇建筑科学
  • 1篇医药卫生

主题

  • 15篇电极
  • 13篇通信
  • 11篇行波
  • 11篇射频
  • 11篇射频通信
  • 10篇移相器
  • 9篇微马达
  • 8篇压电
  • 8篇开关
  • 7篇电容
  • 7篇振动
  • 7篇支撑梁
  • 7篇微机电系统
  • 7篇滤波器
  • 6篇太赫兹
  • 6篇批量化
  • 6篇机电系统
  • 6篇赫兹
  • 6篇封装
  • 6篇MEMS

机构

  • 61篇中国工程物理...
  • 34篇电子科技大学
  • 1篇中国工程物理...
  • 1篇香港城市大学

作者

  • 83篇杜亦佳
  • 33篇代刚
  • 29篇鲍景富
  • 12篇张健
  • 11篇李顺
  • 9篇邓成
  • 8篇赵兴海
  • 7篇蒋俊文
  • 6篇郑英彬
  • 5篇张晓升
  • 5篇凌源
  • 4篇涂程
  • 4篇何宗郭
  • 3篇何月
  • 3篇陈樟
  • 3篇熊永忠
  • 3篇张龙
  • 2篇李倩
  • 2篇牟鹏飞
  • 2篇李仁锋

传媒

  • 4篇微纳电子技术
  • 2篇电子与信息学...
  • 1篇红外与毫米波...
  • 1篇现代电子技术
  • 1篇传感器与微系...
  • 1篇太赫兹科学与...
  • 1篇2009第八...
  • 1篇中国电子学会...
  • 1篇2011年全...

年份

  • 2篇2024
  • 6篇2023
  • 1篇2021
  • 9篇2020
  • 4篇2019
  • 17篇2018
  • 5篇2017
  • 2篇2016
  • 4篇2015
  • 3篇2014
  • 5篇2013
  • 8篇2012
  • 9篇2011
  • 6篇2010
  • 2篇2009
共 83 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种双驱动电极射频微机电开关
该发明属于射频通信及微电子机械元器件中带双驱动电极的射频微机电(RF MEMS)开关。包括开关基座，设于基座上的绝缘层，带输入、输出微带线、固定电极和应力释放孔的悬臂式开关键组件，设于绝缘层上且正对悬臂式开关键下方的吸合...
鲍景富涂程邓成杜亦佳
文献传递
一种MEMS加速度计健康状态监测装置
本实用新型公开一种MEMS加速度计健康状态监测装置。该装置包括：微振动平台、外围平台、四个水平支撑梁、四个垂直支撑梁；微振动平台为方形，外围平台位于微振动平台的外围；四个水平支撑梁和四个垂直支撑梁位于微振动平台和外围平台...
杜亦佳代刚张健刘利芳李顺方雯任尚清
文献传递
一种电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器
该发明属于射频通信及微机电系统（MEMS）技术领域中的电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器。包括基片、设于基片上的振动圆盘，位于振动圆盘两则的环片式交流输入、输出电极及其接头，带定位头的静电电极及位于两端面上的绝缘片，含...
鲍景富何宗郭蒋俊文杜亦佳
文献传递
用于SIP三维集成的封装载体
本发明一种用于SIP三维集成的封装载体，包括管壳、基板、金属盖板，所述基板设置于所述管壳上，并且在所述基板和所述管壳之间形成用于容纳芯片的空腔，所述管壳、基板均采用非导电材料，并且所述管壳和基板之间的电信号相互连通，所述...
张龙陈余杜亦佳代刚张健周泉丰
文献传递
一种太赫兹横向肖特基二极管及其制作方法
本发明公开了一种太赫兹横向肖特基二极管，包括半绝缘层、有源区N+层、有源区N-层、钝化层、欧姆接触区、肖特基接触区、阴极和阳极。其主要制作方法为：刻蚀有源区台阶后，依次离子注入Si形成有源区N+层和有源区N-层，退火后淀...
唐海林李倩熊永忠杜亦佳陈樟
文献传递
一种MEMS行波型微马达结构
本发明公开了一种MEMS行波型微马达结构，包括转子结构、定子行波驱动器结构和预紧力结构，所述定子行波驱动器结构下端与所述预紧力结构固定连接，所述转子结构包括转子壳体和转子，所述转子与所述定子行波驱动器结构紧密压紧在一起，...
杜亦佳陈余代刚周泉丰李小石弓冬冬颜薪瞩杨婷婷
文献传递
一种压电行波微执行器的孤极结构
本发明公开一种压电行波微执行器的孤极结构，包括定子和固定支撑，定子与固定支撑相连；定子包括依次叠加设置的驱动电极、压电材料层、下电极和振膜支撑层，驱动电极位于压电材料层的顶部，驱动电极的外边沿与固定支撑之间具有间隙，驱动...
孙翔宇杜亦佳王艺程陈余李小石弓冬冬杨天宇
一种超快响应的柔性应变传感器及其制备方法
本发明提供了一种超快响应的柔性应变传感器及其制备方法。本发明首先对柔性基底表面进行改性处理和拉伸处理，然后将功能化石墨烯分散液涂覆在经拉伸处理的柔性基底表面，形成功能化石墨烯薄膜；再通过还原处理，形成石墨烯敏感层；然后涂...
杨婷婷徐炜代刚李小石杜亦佳
文献传递
MEMS技术在THz无源器件中的应用被引量：6
2011年
太赫兹技术将在未来高精度频谱探测技术、高分辨率成像和高性能通讯等应用前景良好。太赫兹技术处于电子学与光子学领域的交叉领域,太赫兹器件的尺寸在数十微米到毫米量级,传统的机械加工技术很难达到加工精度要求,甚至无法加工。MEMS技术在太赫兹器件的加工方面具有巨大的优势。总结了目前采用DR IE,LIGA等工艺加工太赫兹器件的研究现状,包括太赫兹传输波导器件、太赫兹传输线器件、慢波结构和特种复合结构的加工。分析了MEMS加工工艺的优缺点和在太赫兹器件加工中的应用前景。
赵兴海鲍景富杜亦佳高杨郑英彬
关键词：微机电系统LIGA深反应离子刻蚀
一种微机械圆盘谐振器
该发明属于一种微机械圆盘谐振器，包括基片、带直流偏置导线的振动圆盘，设于振动圆盘两则、且分别带输入连接线、波纹梁的环片式输入电极和带输出连接线、波纹梁的环片式输出电极，分别与两电极固定的固定条。该发明由于将传统微机械圆盘...
鲍景富邓成杜亦佳蒋俊文何宗郭何月
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