张弘
- 作品数：5 被引量：13H指数：2
- 供职机构：河北大学更多>>
- 发文基金：河北省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信经济管理理学更多>>
- 高k值HfO_2栅介质材料电学特性的研究进展被引量：11
- 2007年
- 随着Si-MOS集成电路的迅速发展,高k值栅介质材料将成为下一代MOS器件绝缘栅最有希望的候选材料。介绍了近年来HfO2栅介质材料在制备方法和电学特性方面的研究进展,提出了改善其电学特性的主要途径,其中包括非金属元素掺杂、构建组分渐变界面、设计准二元合金系统、制备堆垛积层结构、抑制界面层生长和选择适宜的电极材料等。
- 田书凤彭英才范志东张弘
- 关键词：高介电常数HFO2栅介质电学特性
- 超薄SiOxNy膜的制备与结构特性研究
- 本工作采用热氮化和热退火工艺,分别在NO和NH气氛中制备了薄至几个纳米的SiON薄膜。利用α—台阶仪测量了SiON薄膜的厚度,实验研究了Si衬底晶向、氮化温度、生长时间和氮化气氛对SiON薄膜厚度的影响,定性地讨论了热氮...
- 张弘
- 关键词：结构特征MOS结构电学特性
- 文献传递
- 超薄层SiO_xN_y栅介质薄膜的制备与研究进展
- 2005年
- 在0.1μm级的Si_CMOS器件及其集成电路中,作为替代传统SiO2栅介质的首选材料,超薄SiOxNy膜已被广泛研究和应用.本文介绍了近几年SiOxNy栅介质制备技术的研究进展,讨论了各种方法的优缺点,并展望了SiOxNy栅介质制备技术的未来发展趋势.
- 张弘范志东田书凤彭英才
- 关键词：等离子体氮化化学气相沉积
- 湖南省传统农业向现代农业转型路径研究
- 农业是人类社会最基本的物质生产部门，发挥稳天下、安民生的作用。随着全球经济的发展和世界人口增长，传统农业生产发展面临着增产、提高质量等多方面的压力。在当前经济社会条件下，现代农业代表了农业发展的最新阶段和最高境界。新世纪...
- 张弘
- 关键词：农村经济农业现代化
- 文献传递
- Si光子学研究的最新进展
- 2005年
- 介绍了近年内以全Si光电子集成为主要目标的Si光子学研究在各类Si光子器件,如发光二极管、激光器、光探测器、光调制器以及光子晶体等方面所取得的一些最新进展,预计全Si光电子集成技术有望在未来10年内得到突破性的进展。
- 彭英才杜会静李社强张弘
