席文柱
- 作品数：5 被引量：12H指数：2
- 供职机构：大连理工大学电子科学与技术学院电子工程系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信生物学更多>>
- 基于mems技术的硅基热流式微流量传感器研究
- 20世纪90年代初，微型全分析系统已发展为当前世界上最前沿的科技领域之一。在微全分析系统检测分析中，被测样品的进样量是微升或纳升级，因此，微流量传感器的研究成为目前分析仪器发展的重要研究内容之一。目前，国外关于硅基热流式...
- 席文柱
- 关键词：流量传感器MEMS技术
- 文献传递网络资源链接
- Ni薄膜热敏电阻的研究被引量：2
- 2004年
- 采用磁控溅射方法制备Ni薄膜热敏电阻,其电阻温度系数(TCR)为5.7×10-3/℃。对Ni电阻薄膜表面和横截面进行了电子探针微分析(EPMA),得到了Ni薄膜横截面的线分析谱线,并对Ni薄膜表面结构进行了较深入的分析。
- 闫卫平席文柱邝永变杜立群
- 关键词：热敏电阻
- 硅基热流式微流量传感器研究被引量：6
- 2004年
- 采用微电子技术和微机械加工技术 ,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模式下 ,分析了微流量传感器的特性曲线。实验结果表明 ,硅基热流式微流量传感器的测量范围在 1 0～ 80 0 μL/min之间。
- 席文柱闫卫平马灵芝牛德芳
- 关键词：微流量传感器微加热器微机械电子系统
- 硅基PCR生物芯片微型加热器及温度传感器的研究
- 采用化学腐蚀及干法刻蚀相结合的技术制作PCR生物芯片的微反应腔,并在微反应腔上制作金属薄膜微型加热器和温度传感器,分析了微型加热器和温度传感器的特性,并给出扫描电子显微镜照片.实验证明Ni比较适合做温度传感器,NiCr是...
- 席文柱闫卫平杜立群郭吉洪
- 关键词：聚合酶链式反应生物芯片温度传感器化学腐蚀干法刻蚀
- 文献传递
- 硅基PCR生物芯片微型加热器及温度传感器的研究被引量：2
- 2003年
- 采用化学腐蚀及干法刻蚀相结合的技术制作PCR生物芯片的微反应腔 ,并在微反应腔上制作金属薄膜微型加热器和温度传感器 ,分析了微型加热器和温度传感器的特性 ,并给出扫描电子显微镜照片。实验证明Ni比较适合做温度传感器 ,NiCr是较好的微型加热器材料 。
- 席文柱闫卫平杜立群郭吉洪
- 关键词：生物芯片温度传感器聚合酶链式反应
