杜立群
- 作品数：178 被引量：237H指数：8
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域：化学工程金属学及工艺电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 基于电化学沉积的高深宽比无源MEMS惯性开关的研制被引量：4
- 2017年
- 基于电化学沉积技术在金属基底上制作了一种新型的无源MEMS惯性开关。针对高深宽比、细线宽微电铸用光刻胶模具制作过程中,由于SU-8胶膜严重侧蚀导致的胶膜制作困难、质量低下的问题,进行了紫外光刻试验研究。试验研究了不同曝光剂量和后烘时间对SU-8胶光刻效果的影响,优化了光刻工艺参数。采用降低曝光剂量和延长后烘时间相结合的方法解决了高深宽比、细线宽SU-8胶膜制作困难的问题,制作出高质量的微电铸用光刻胶模具。最后,在上述试验结果基础上制作了一种高深宽比、无源MEMS惯性开关。其外形尺寸为3935μm×3935μm×234μm,其中最细线宽12μm,单层最大深宽比达10∶1,多层最大深宽比达20∶1。
- 杜立群陶友胜李爰琪齐磊杰
- 关键词：电化学沉积高深宽比紫外光刻
- 应用Proteus和Keil联调的纳秒脉冲电源的仿真设计被引量：2
- 2013年
- 微细加工技术是MEMS器件加工工艺的关键环节,基于阴极生长成型的电沉积技术由于精度高,可控性强被广泛应用。微电铸是MEMS器件成型过程中的关键工艺步骤,脉冲电源是微电铸步骤中所使用的重要实验设备之一。传统的脉冲电源利用开关管斩波的方式,控制复杂且成本高,利用DDS芯片制作脉冲电源需要复杂的滤波环节。设计了一款脉冲波形为矩形,脉冲宽度在百纳秒级别的脉冲电源。选择ICL8038芯片作为高频脉冲发生器,利用AT89C51单片机控制数字电位器MAX5413来调节ICL8038芯片所产生的矩形脉冲波频率和占空比等参数,采用液晶显示屏来显示矩形脉冲波的频率和占空比参数的信息。并采用Proteus和Keil软件联调的方式,对电源电路进行了仿真设计。结果表明:波形纯净,脉冲陡峭,控制电路简单,无需复杂的滤波环节,成本较低,适用于微电铸加工。
- 赵忠杜立群
- 关键词：微电铸PROTEUS数字电位器C51单片机
- 超声电铸提高金属微流控芯片模具的均匀性被引量：3
- 2016年
- 利用微电铸技术制作的微流控芯片模具往往存在沉积厚度不均匀的缺陷,这种缺陷会影响模具的尺寸精度及使用性能,并增加模具的制作成本。为了制得厚度均匀的微流控芯片模具,研究了超声电铸对模具均匀性的影响。首先,采用有限元软件COMSOL Multiphysics建立微流控芯片模具的微电铸模型,分析电铸2h后的模具的厚度分布。并根据该仿真结果,设计掩模版。然后,在自主搭建的超声电铸装置中进行一系列电铸实验,来研究超声搅拌对模具均匀性的影响。实验结果表明:电铸过程中添加超声搅拌可以改善微流控芯片模具的均匀性。超声功率为200 W时,超声频率改善模具均匀性的程度为200kHz>80kHz>120kHz。超声频率为200kHz时,超声功率改善模具均匀性的程度为500 W>200 W>100 W。当超声的频率和功率分别为200kHz和500 W时,与无超声电铸相比,模具的均匀性提高约30%。
- 杜立群杨彤赵明陶友胜罗磊王磊刘冲
- 关键词：微电铸均匀性超声空化声流
- 金属微通道结构UV-LIGA精密成形技术研究被引量：1
- 2018年
- 随着宽禁带功率芯片的使用,电子设备正朝着高性能化、高速度化以及高集成度化的方向发展,因此,高效散热问题亟待解决。微尺度通道内液体特殊的流动特性、尺度效应,可集中散发大量热量,为电子设备高效能散热开辟新的途径。文中针对金属微通道散热单元,开展金属微通道结构UV-LIGA精密成形关键技术研究,突破了大厚度胶膜图形制备和铜微结构精密电铸成型技术难点,成功制备了特征宽度为100μm,深宽比不小于5的铜质微通道基板样件,实现金属微通道构件高效率、高质量成形。
- 吕辉王仁彻严战非沈涛杜立群
- 关键词：光刻微电铸
- 一种专用微流控芯片及其单次加样连续分离电泳方法
- 本发明公开了一种专用微流控芯片及其单次加样连续分离电泳方法，属于应用在生命科学、医学、分析化学的微流控芯片技术领域。其特征是本发明包括电泳高压电参数的施加方法和配合该方法使用的微流控芯片，通过电泳专用高压电源对微流控芯片...
- 刘冲陈刚王晓东徐征杜立群刘军山刘文涛
- 文献传递
- SU-8光刻胶与Ni基底结合性的分子模拟被引量：5
- 2010年
- 运用分子动力学模拟软件Materials Studio针对SU-8胶与Ni基底的结合性进行模拟分析,计算了不同前烘温度下SU-8胶与Ni(100)面的结合能,发现在343K的前烘温度下,光刻胶与基底的界面结合能达到最大,说明此时界面结合最好。通过对SU-8胶与Ni基底的相互作用能分析,发现影响结合能的主要因素是两种分子之间的范德华力,其中色散力起主要作用,其值是排斥力的近两倍。
- 杜立群郭照沛张晓蕾
- 关键词：SU-8光刻胶结合能分子动力学模拟
- 一种电热驱动微结构的制作方法
- 本发明是一种电热驱动微结构的制作方法，属于微制造技术领域，涉及在非金属基底上制造金属器件类。通过剥离工艺获得绝缘基底上的导线层；选用与电铸微结构结合力较小的金属材料做为基底；采用牺牲层技术，在不锈钢基底上，通过两次SU-...
- 杜立群贾胜芳李永辉刘冲刘军山徐征
- 无阀微泵流体特性的数值计算和结构优化设计
- 本文建立了基于收缩管和扩张管整流特性的无阀微泵的整体模型,借助流阻系数对整个微泵内部流体进行分析,得到微泵扩张效率的表达公式.通过数值计算,得到微泵关键部件扩张管元件的扩张比、扩张角以及泵腔高度的优化参数.
- 杜立群杨季玲徐征王立鼎
- 关键词：无阀微泵流阻系数整流特性
- 文献传递
- 超声处理对UV-LIGA工艺中SU-8胶溶胀的影响被引量：5
- 2012年
- 首次将超声处理引入UV-LIGA工艺中,研究了超声处理对SU-8胶模溶胀的影响,并探讨了其影响机理,从而获得了减小胶模溶胀及提高电铸微器件尺寸精度的方法。试验研究了超声处理对显影过程及电铸过程中SU-8胶模溶胀的影响,分析了不同超声时间下SU-8胶表面亲水性的变化趋势,并计算了不同超声时间下胶模的溶胀去除率。讨论了超声处理对不同结构微器件尺寸精度的影响。试验结果表明:SU-8胶模在显影过程中的溶胀不明显,并且超声处理对显影过程中胶模的溶胀影响很小,其主要影响SU-8胶模在电铸过程中的溶胀。随着超声时间的增加,胶模溶胀及其表面亲水性均呈现先减小后增大的趋势。当超声时间为10min时,胶模溶胀最小,其溶胀去除率α值可高达70%,并且超声处理后电铸微器件的尺寸误差与结构尺寸无关。根据超声波的机械断键作用与聚合物吸水机理,从亲水性和内应力两个方面,探究了SU-8胶模溶胀随超声时间的增加而变化的原因。文中提出的减小SU-8胶溶胀的方法不依赖于工艺参数也不会增加掩模图形设计的复杂性,是一种实用的减小SU-8胶溶胀的新方法。
- 杜立群刘亚萍李永辉李成斌
- 关键词：超声处理SU-8光刻胶溶胀电铸UV-LIGA
- 基于微电铸工艺的金属铜沸腾换热表面的制作
- 沸腾换热是指热量从壁面传递给液体使液体沸腾,通过气泡运动带走热量,使壁面冷却的一种传热方式。由于其传热系数远高于强制对流换热,是一种非常高效的热传递方式,因此在能源动力、机械制造、材料化工、电子通讯等领域均有应用。通过在...
- 杜立群姬学超曹强王舒萱
- 关键词：沸腾换热UV-LIGA
- 文献传递
