唐中华
- 作品数：7 被引量：12H指数：3
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- 相关领域：理学一般工业技术更多>>
- 放电参量对电负性容性耦合等离子体电子密度的影响被引量：5
- 2014年
- 利用微波共振探针对40.68 MHz单射频容性耦合SF6、Cl2、O2/Ar电负性等离子体电子密度进行了诊断测量。首先,将微波共振探针在Ar等离子体中的测量结果与朗缪尔探针结果进行对比,确定微波共振探针精确测量的实用范围;其次,运用微波共振探针的测量方法详细研究了放电参量对电负性容性耦合等离子体电子密度的影响。结果发现,电负性气体如SF6、Cl2、O2掺入到Ar等离子体中,均大幅度降低了等离子体的电子密度,强电负性气体的掺入对电子密度的下降尤为明显,随着电负性气体的不断掺入,电子密度趋于稳定值。文中也解释了射频放电功率和放电气压对电子密度造成的影响。
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- 关键词：等离子体电子密度
- 电负性容性耦合等离子体诊断及材料表面处理
- 氟基、氯基等电负性等离子体广泛运用于刻蚀加工领域，但是电负性等离子体电子密度的测量用传统方法比较繁杂。本文主要研究了利用微波共振探针对电负性容性耦合等离子体电子密度的诊断，并研究了容性耦合等离子体在材料表面处理中的应用。...
- 唐中华
- 关键词：材料表面处理技术工艺参数
- 文献传递
- 太阳能电池制绒表面的抛光方法及抛光装置
- 本发明提供一种太阳能电池制绒表面的抛光方法和抛光装置，其基于大功率射频激发的行波耦合等离子体技术，不依赖于晶体硅片的表面状态，工艺操作十分方便、易于控制，具有更好的可靠性和重复性；不存在液态制绒对硅片的机械冲击损伤，提高...
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- 文献传递
- 电负性气体的掺入对容性耦合Ar等离子体的影响被引量：4
- 2013年
- 本文利用朗缪尔静电探针对掺入了电负性气体O2,Cl2,SF6的由4068MHz激发的单射频容性耦合Ar等离子体进行了诊断测量.测量结果表明:随着电负性气体流量的增加,电子能量概率分布函数出现了高能峰,高能峰且有向高能侧漂移的现象;电负性气体掺入Ar等离子体后显著降低了等离子体的电子密度;电子温度随着电负性气体流量比的增加而升高.另外,本文还测量了掺入三种电负性气体后在不同流量比下的混合气体等离子体的电负度α.对实验现象进行了初步的解释.
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- 关键词：电子密度电子温度
- 锂电池电极片的毛边处理方法及装置
- 本发明公开了一种锂电池电极片的毛边处理方法及装置，该方法包括：S1、提供等离子体刻蚀装置；S2、将锂电池电极片竖直放置在所述等离子体刻蚀装置腔室内的第二电极上；S3、将所述腔室抽至本底真空，并向腔室内通入反应气体使腔室达...
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- 文献传递
- 悬浮型微波共振探针在电负性容性耦合等离子体中电子密度的测量被引量：6
- 2012年
- 本文首先利用悬浮型微波共振探针测量了Ar等离子体的电子密度,并与朗缪尔双探针的测量结果进行了比较,表明了微波共振探针在低密度等离子体测量的可行性.对40.68 MHz单射频容性耦合Ar/SF_6和SF_6/O_2等离子体的测量结果表明:电负性气体SF_6掺入Ar等离子体显著降低了等离子体电子密度,但随着增加SF_6的流量,电子密度表现为缓慢下降;而O_2掺入SF_6等离子体中,电子密度则随着O_2流量的增加表现为持续的下降.另外,40.68 MHz/13.56 MHz双频激发的SF_6/O_2容性耦合离子体的电子密度并不随低频功率的变化而变化.本文对上述的实验现象进行了初步的解释.
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- 关键词：电子密度
- 太阳能电池制绒表面的抛光方法及抛光装置
- 本发明提供一种太阳能电池制绒表面的抛光方法和抛光装置，其基于大功率射频激发的行波耦合等离子体技术，不依赖于晶体硅片的表面状态，工艺操作十分方便、易于控制，具有更好的可靠性和重复性；不存在液态制绒对硅片的机械冲击损伤，提高...
- 辛煜唐中华邹帅
- 文献传递
