- 电负性容性耦合等离子体的诊断及空心阴极射频放电的研究
- 由于电负性等离子体在微电子工业、光电子器件以及半导体工业上的大量应用,对其性质的研究一直是人们的关注所在。本文主要研究了在40.68MHz单射频激发的容性耦合Ar等离子体中掺入不同的电负性气体O2、Cl2和SF6,形成混...
- 洪布双
- 关键词：分布函数
- 文献传递
- 放电参量对电负性容性耦合等离子体电子密度的影响被引量：5
- 2014年
- 利用微波共振探针对40.68 MHz单射频容性耦合SF6、Cl2、O2/Ar电负性等离子体电子密度进行了诊断测量。首先,将微波共振探针在Ar等离子体中的测量结果与朗缪尔探针结果进行对比,确定微波共振探针精确测量的实用范围;其次,运用微波共振探针的测量方法详细研究了放电参量对电负性容性耦合等离子体电子密度的影响。结果发现,电负性气体如SF6、Cl2、O2掺入到Ar等离子体中,均大幅度降低了等离子体的电子密度,强电负性气体的掺入对电子密度的下降尤为明显,随着电负性气体的不断掺入,电子密度趋于稳定值。文中也解释了射频放电功率和放电气压对电子密度造成的影响。
- 唐中华洪布双徐东升辛煜
- 关键词：等离子体电子密度
- 电负性气体的掺入对容性耦合Ar等离子体的影响被引量：4
- 2013年
- 本文利用朗缪尔静电探针对掺入了电负性气体O2,Cl2,SF6的由4068MHz激发的单射频容性耦合Ar等离子体进行了诊断测量.测量结果表明:随着电负性气体流量的增加,电子能量概率分布函数出现了高能峰,高能峰且有向高能侧漂移的现象;电负性气体掺入Ar等离子体后显著降低了等离子体的电子密度;电子温度随着电负性气体流量比的增加而升高.另外,本文还测量了掺入三种电负性气体后在不同流量比下的混合气体等离子体的电负度α.对实验现象进行了初步的解释.
- 洪布双苑涛邹帅唐中华徐东升虞一青王栩生辛煜
- 关键词：电子密度电子温度
