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黄水华

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇小型化
  • 1篇多自由度
  • 1篇叉指电极
  • 1篇超声波马达

机构

  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇刘景全
  • 1篇杨斌
  • 1篇周广华
  • 1篇黄水华

传媒

  • 1篇电子工艺技术

年份

  • 1篇2004
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
声表面波马达
2004年
给出了超声马达的新进展—声表面波马达。由于其驱动信号是可以由结构简单的叉指电极激发的声表面波,因而克服了一般的超声马达结构复杂,制造困难以及小型化困难等缺点。本文给出了国内外声表面波马达的研究现状,并对其进一步的研究作了探讨。
周广华刘景全杨斌黄水华
关键词:超声波马达多自由度叉指电极小型化
共1页<1>
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