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黄水华
作品数:
1
被引量:0
H指数:0
供职机构:
上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
周广华
上海交通大学微纳米科学技术研究...
杨斌
上海交通大学微纳米科学技术研究...
刘景全
上海交通大学微纳米科学技术研究...
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电子电信
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小型化
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超声波马达
机构
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上海交通大学
作者
1篇
刘景全
1篇
杨斌
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周广华
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黄水华
传媒
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电子工艺技术
年份
1篇
2004
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声表面波马达
2004年
给出了超声马达的新进展—声表面波马达。由于其驱动信号是可以由结构简单的叉指电极激发的声表面波,因而克服了一般的超声马达结构复杂,制造困难以及小型化困难等缺点。本文给出了国内外声表面波马达的研究现状,并对其进一步的研究作了探讨。
周广华
刘景全
杨斌
黄水华
关键词:
超声波马达
多自由度
叉指电极
小型化
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