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祁志美

作品数：3 被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院合肥智能机械研究所更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 2篇气敏
  • 1篇氧化物
  • 1篇氧化锡
  • 1篇气敏薄膜
  • 1篇气敏器件
  • 1篇气敏特性
  • 1篇SIO
  • 1篇SNO
  • 1篇FEO
  • 1篇ITO
  • 1篇ITO薄膜
  • 1篇衬底
  • 1篇X

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇张耀华
  • 3篇祁志美
  • 2篇李民强
  • 1篇唐红霖

传媒

  • 1篇传感器技术
  • 1篇郑州轻工业学...
  • 1篇功能材料

年份

  • 3篇1994
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
浸渍涂布法制备ITO气敏薄膜
1994年
利用含In,Sn成分的水溶液,经浸渍涂布工艺在不同衬底上制备了ITO薄膜(掺Sn的In_2O_3薄膜)。采用XRD、XPS、SEM分析了薄膜的结构,成分和表面形貌;测试薄膜的气敏特性,发现其对NO_2有良好的选择性和灵敏度,而且薄膜显示出长时间良好的工作稳定性,可望制成实用的NO_2敏感元件。
祁志美张耀华李民强唐红霖
关键词：ITO薄膜气敏特性
浸渍涂布法制备（CaxLa_l－x）FeO_3薄膜及其气敏效应的研究被引量：3
1994年
利用含有Ｃａ，Ｌａ和Ｆｅ成分的水溶胶（摩尔比为Ｃａ：Ｌａ：Ｆｅ＝０．２５：０．７５：ｌ），经浸渍──提拉──干燥──焙烧过程分别在玻璃衬底及Ａｌ＿２Ｏ＿３基片上制备了薄膜。通过ＸＲＤ和ＸＰＳ分析表明玻璃衬底上的薄膜是成分准确的钙钛矿结构的（Ｃａ＿０．２５Ｌａ＿０．７５）ＦｅＯ＿３薄膜，而Ａｌ＿２Ｏ＿３基片上的薄膜是成分不确切且呈混合相的薄膜；借助ＳＥＭ观察了薄膜的表面微结构；测试Ａｌ２０３基片上的薄膜对酒精的气敏效应，发现在较低的工作温度下，薄膜对低浓度的酒精蒸气有高的灵敏度。
祁志美张耀华
关键词：衬底
SnO_2－SiO_2双层薄膜氢敏元件的特性研究被引量：7
1994年
采用溶液－凝胶浸渍涂布工艺在Ａｌ＿２Ｏ＿３陶瓷管上制备了掺杂ＳｎＯ＿２气敏薄膜；利用高温热解法在ＳｎＯ＿２薄膜表面覆盖ＳｉＯ＿２气体分离膜后制得双层薄膜气敏元件。分别测试并比较单层和双层薄膜元件的气敏特性，结果表明：单层薄膜元件对可燃性气体无选择性、响应和恢复时间短；而双层薄膜元件对氢气表现出极高的灵敏度和优越的选择性，其响应和恢复时间都比单层薄膜元件有所延长，结合实验结果，从理论上阐述了双层薄膜元件对氢气的敏感机理。
祁志美张耀华李民强唐红霖
关键词：氧化物氧化锡气敏器件
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