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王富田
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李丹
中国电子科技集团公司第四十六研...
刘锋
中国电子科技集团公司第四十六研...
王世援
中国电子科技集团公司第四十六研...
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中国电子科技集团公司第四十六研...
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重掺磷硅单晶生长技术研究
被引量:2
2009年
在国产TDR-62硅单晶炉上,采用10英寸和12英寸热系统开展了重掺磷硅单晶生长研究,生长出了4英寸<111>晶向、电阻率1.0×10-3~1.8×10-3Ω·cm的重掺磷硅单晶。对重掺磷硅单晶的磷掺杂和电阻率控制技术及位错与微缺陷的产生机理进行了探讨。
刘锋
韩焕鹏
李丹
王富田
李方
王世援
关键词:
硅单晶
位错
空间太阳电池用掺锗MCZ硅单晶研究
本文分析了空间太阳电池用硅单晶抗辐照加固的几种方法,介绍了掺锗MCZ硅单晶的研制及应用情况,并对结果进行分析,得出一些有价值的结论.
刘锋
纪秀峰
赵光军
栾国旗
李丹
王世援
王富田
史继祥
关键词:
抗辐照加固
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