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毕振华

作品数：2 被引量：4H指数：1
供职机构：大连理工大学物理与光电工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇理学
  • 1篇电子电信

机构

  • 2篇大连理工大学
  • 1篇新疆工业高等...

作者

  • 2篇陆文琪
  • 2篇王友年
  • 2篇毕振华
  • 1篇李小松
  • 1篇徐翔
  • 1篇蒋相站
  • 1篇刘永新
  • 1篇徐勇
  • 1篇姜巍

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
双频容性耦合等离子体研究进展
<正>双频耦合等离子体(dual-frequency capacitively coupled plasma,DF-CCP)源的主要特点是可以在低气压放电下产生大面积、高密度的均匀等离子体,尤其是这种放电技术可以独立地控...
姜巍毕振华李志成常大磊杨烁徐翔李小松陆文琪徐勇朱爱民王友年
文献传递
双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究被引量：4
2012年
利用自主研制的全悬浮双探针,对影响双频容性耦合等离子体径向均匀性的因素进行了研究.发现低频功率、放电气压和放电间距对径向均匀性有明显影响.合适的低频功率、放电气压及较大的极板间距可以得到更均匀的等离子体.采用与实验相同的放电参数,利用改进的二维流体模型进行理论模拟,得到了不同极板问距下径向离子密度分布,并和实验测量结果进行了比较,两者的变化趋势基本符合.
蒋相站刘永新毕振华陆文琪王友年
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