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刘永新
作品数:
37
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H指数:3
供职机构:
大连理工大学
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国家自然科学基金
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合作作者
王友年
大连理工大学物理与光电工程学院
赵凯
大连理工大学
张莹莹
大连理工大学
高飞
大连理工大学物理与光电工程学院
王晓坤
大连理工大学
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一种等离子气体的温度测量装置
本发明公开了一种等离子气体的温度测量装置,包括:真空腔室、光纤温度传感器、石英管、环形器、光谱仪、宽带光源和计算机;所述石英管的一端插入所述真空腔室中;所述光纤温度传感器位于所述真空腔室的等离子气体中,并固定于所述石英管...
韩道满
刘永新
高飞
刘子耕
荆振国
王友年
文献传递
一种用于测定等离子体中微量粒子浓度的吸收光谱装置
一种用于测定等离子体中微量粒子浓度的吸收光谱装置,属于等离子体光谱诊断领域。这种光谱诊断装置包括大功率宽带LED光源系统、光学谐振腔系统、光路调节辅助系统三个部分。宽带LED光源发出的宽带光经过凸透镜和球面反射镜聚焦和准...
刘永新
刘刚虎
刘文耀
王友年
文献传递
一种边缘等离子体分布调节装置
本发明涉及一种边缘等离子体分布调节装置,包括:射频源、卡盘、晶圆电极、接地电极、第三电极和调节电源;所述射频源加载在所述晶圆电极上;所述射频源用于在所述接地电极和所述晶圆电极之间产生射频交变电场以产生等离子体;所述接地电...
张权治
马方方
赵凯
孙景毓
刘永新
王友年
低频频率和O_2含量对双频容性耦合等离子体Ar-O_2放电的影响
2014年
利用四极杆质谱仪研究了Ar/O2混合气体放电中低频频率和O2含量对离子能量分布和平均能量的影响。研究结果表明当低频频率增大时,离子能量逐渐由中频机制向高频机制变化,其能量分布的马鞍型双峰结构逐渐收缩,变得不明显。Ar+离子由于共振电荷交换的影响获得更多的低能离子,其平均能量比O2+离子的稍低。增大氧气含量,电离率增大,Ar+离子和O2+离子的高低能峰均向高能区移动,最大能量值逐渐右移。同等条件下的Ar+离子的平均能量均低于O2+离子。
蒋相站
张季
李文亮
姚洪斌
刘永新
刘佳
双频容性耦合等离子体无碰撞电子反弹共振加热研究
刘永新
张权治
姜巍
侯璐景
陆文琪
王友年
关键词:
发射光谱
一种任意波形驱动放电控制系统
本发明提供一种任意波形驱动放电控制系统,包括:反应器、计算机、信号发生器、功率放大器和匹配网络。反应器用于维持等离子体放电;计算机,与反应器连接,用于产生第一波形数据,还用于采集反应器的电压,并判断反应器的电压中的各谐波...
赵凯
刘永新
张权治
孙长森
王友年
文献传递
一种教学用直流辉光放电探针诊断装置
本实用新型公开一种教学用直流辉光放电探针诊断装置,包括放电管、平行玻璃管、探针、波纹管、放电阴极和放电阳极,放电管垂直放置,放电管的下法兰固定在实验台上,放电管内的上极板为放电阴极,接入直流高压的放电阴极利用垂直轴与放电...
张莹莹
刘永新
张家良
刘景林
李聪
宋远红
一种等离子体刻蚀装置及方法
本发明涉及一种等离子体刻蚀装置及方法。装置中的壳体内含有上极板、下极板、上极板线圈和下极板线圈。将待刻蚀材料放在上极板的上表面,将放电气体通入到腔体内部,在射频电源的充能作用下在上下平行放置的上下极板之间产生等离子体。刻...
刘永新
刘佳睿
王友年
文献传递
一种等离子体源装置
本发明公开一种等离子源装置。包括:真空腔室、上极板、下极板和分子泵;真空腔室为圆柱形状,真空腔室的腔壁上分布有多个不同的诊断窗口;上极板包括圆形的上极板面和第一立柱,第一立柱与圆形的上极板面为一体结构,形成倒立“T”型;...
刘永新
王晓坤
苏子轩
王友年
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一种磁探针装置
本发明公开一种磁探针装置。所述磁探针装置包括:磁探针本体和信号处理电路,所述磁探针本体输出端与所述信号处理电路的输入端连接;所述信号处理电路包括第一电容、第二电容、法拉第屏蔽装置和升压变压器,所述法拉第屏蔽装置固定于所述...
赵凯
刘永新
王友年
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