张晓波
- 作品数：26 被引量：63H指数：6
- 供职机构：中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信核科学技术更多>>
- 产生拉盖尔—高斯模的全息光栅实验研究被引量：5
- 2005年
- 拉盖尔高斯(Laguerre-Gaussian,LG)模是光子的轨道角动量本征态,它在未来的光镊、量子信息和计算等领域有潜在的应用价值。分别用两种记录介质全息干板和喷墨透明胶片制作了全息光栅。通过这种全息光栅在实验上产生了拓扑数从一阶到高阶的拉盖尔高斯模,同时观察到高阶模的空间不稳定特性。并且详细讨论了光栅制作过程中的各种控制参量如曝光时间及强度对光栅衍射效率的影响。
- 蔡田张晓波叶芳伟李永平
- 关键词：信息光学
- 一种用于均匀照明的衍射光学元件设计的快速模拟退火法被引量：8
- 2005年
- 介绍了一种适用于均匀照明的衍射光学元件设计的自洽迭代和优化混合的快速模拟退火法,它引入Tsallis正则分布以及相应的效用函数思想,可以在接近1%的时间内得到和传统模拟退火法有着相同均方差(MSE)的理想模拟结果.
- 刘洪亮赵逸琼李永平付绍军张巍张晓波舒方杰
- 关键词：模拟退火法元件设计衍射光学均匀照明正则分布均方差
- 离子束刻蚀工艺误差对DOE器件的影响被引量：5
- 2007年
- 针对衍射光学元件(DOE)的离子束刻蚀工艺,结合掩模套刻过程实例,本文提出了刻蚀误差面形分布的概念。在标量衍射的夫琅和费原理上,进行了误差数值模拟分析及讨论。模拟分析和实验数据结果表明,误差的面形分布在DOE器件的衍射焦斑中心会产生一个明显的光强畸变毛刺亮点,严重破坏了靶场照明的均匀性。
- 刘强张晓波邬融田杨超李永平
- 关键词：衍射光学元件离子束刻蚀
- 光刻胶纳米结构失效现象的光学特性分析
- 2016年
- 具有纳米结构的光刻胶有着独特的光学特性,其纳米结构参数直接决定其光学特性。通过对光栅脊柱倾斜、粘连和倒伏堆叠这3种结构失效现象建模,利用严格耦合波理论数值,计算了各种失效结构对偏振光的反射率影响。结果表明,脊柱倾斜的纳米光栅对于偏振光反射率最小的波长发生红移;当有粘连时纳米光栅的对偏振光的敏感程度减弱,同时产生衍射级次;倒伏堆叠的纳米光栅产生较强的衍射级次。利用偏振改变与失效形式的关系可以对纳米结构的具体失效形式做出判断,这对于实现微纳结构的无损监测有一定的推动意义。
- 柏杨张晓波熊瑛刘刚田扬超
- 关键词：微纳加工偏振
- 一种X射线曝光间隙控制方法
- 一种X射线曝光间隙控制方法，在X射线掩模的非窗口区域上制作台阶，所述台阶的制作工艺为：首先利用旋涂工艺在掩模上涂上所需厚度的光刻胶或其它聚合物，然后采用光刻工艺或刻蚀工艺在掩模上得到所需高度的台阶；将涂有光刻胶的样品放在...
- 刘刚熊瑛周杰张晓波田扬超
- 光谱色散和分布式相位板联用对靶面辐照均匀性的改善被引量：1
- 2011年
- 通过对分布式相位板和光谱色散匀滑技术联用的模拟计算,分析了联用实验中焦斑的变化,论证了非设计采样点光强的不可控性对焦斑匀滑质量的损害。模拟结果证实了光谱色散匀滑技术对色散方向上的焦斑均匀性的改善,焦斑不均匀性由58.30%降为19.50%。通过分析焦斑不均匀性与光谱色散匀滑积分时间的关系,发现5~6个光谱色散匀滑调制周期时得到最优匀滑效果。对焦斑频谱的分析显示,光谱色散匀滑技术可以有效抑制由非设计采样点光强引入的高频成分,26.3μm内的光强调制被平滑,同时很好地保持了由分布式相位板决定的焦斑低频包络,在实验与模拟中均得到很好验证。为进一步的分布式相位板与光谱色散匀滑技术联用设计提供了理论依据。
- 曹国威石鹏张晓波邬融周申蕾李永平
- 关键词：衍射
- 用于超宽焦斑光束整形的大口径衍射光学元件设计和制作被引量：6
- 2005年
- 采用改进混合优化算法首次设计并制作了口径168.7 mm的连续衍射光学元件实现类环形光束入射,输出直径650μm超宽焦斑光束均匀照明。用Nd:YAG脉冲激光器1.064μm波长激光进行实验,获得了与设计尺寸相符、边缘陡峭、无中心尖锐脉冲、具有极好的离焦宽容性的宽焦斑,但焦斑顶部不均匀性较大。对此进行了深入的模拟分析,结果表明:焦斑顶部较大的光强调制主要来源于现有的工艺及实验条件误差。
- 赵逸琼王建东张晓波李永平伍源王旭迪傅绍军
- 关键词：应用光学衍射光学元件离子束刻蚀
- 一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法
- 本发明涉及一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法，其步骤为：(1)配置好热溶胶，浓度为：0.1％～2.0％，热溶胶温度为：50～95℃，凝胶化温度：＜40℃；(2)将热溶胶添加于微纳结构上，改变温度形成凝胶层，并通过...
- 刘刚陈楠熊瑛张晓波田扬超陆亚林
- 文献传递
- 基于软X射线成像菲涅耳波带片精确光学传递函数的离焦图像恢复
- 2017年
- 高分辨率软X射线显微成像已被广泛用于获得样品的三维结构.然而,焦深的受限问题导致样品投影图像离焦模糊,严重影响图像质量.提出了一种基于菲涅尔波带片的光学传递函数离焦图像的恢复方法.利用这种恢复方法,恢复了Siemens star测试板的离焦图像.结果表明,基于光学传递函数的恢复方法能够去除因离焦而造成模糊现象并且恢复由离焦引起的离焦图像.而且,相关的模拟说明这种方法可以真正用于解决X射线显微成像中焦深受限问题,完成样品的三维成像.
- 李法虎关勇熊瑛张晓波刘刚田扬超
- 关键词：光学传递函数图像恢复菲涅耳波带片
- 一种用于太阳能聚光的分光谱衍射光学系统
- 本发明涉及一种用于太阳能聚光的分光谱衍射光学系统，所述分光谱衍射光学系统是一个衍射光学元件和一个聚焦透镜组成的光学系统或者一个折衍射光学元件。本发明提及的光学系统中，衍射光学元件用来实现光谱分束和焦斑整形的效果，而聚焦透...
- 黄坤康学亮丁立张晓波李永平
- 文献传递
