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姜理利
作品数:
8
被引量:9
H指数:2
供职机构:
东南大学
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发文基金:
电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室基金
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相关领域:
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合作作者
唐洁影
东南大学电子科学与工程学院微电...
黄晓东
东南大学
王立峰
东南大学
马宁
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8篇
东南大学
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8篇
姜理利
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唐洁影
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4篇
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表面微加工悬臂梁断裂失效可靠度预测
MEMS的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的乙的一个基本结构,本文阐述了多晶硅微悬臂梁的断裂失效机理.利用宏观机械理论中的应力-强度干涉理论对表面微加工的多晶硅微悬臂梁的断裂可靠性进行预测,建立了在均匀的表面载荷下的...
姜理利
唐洁影
关键词:
微悬臂梁
MEMS
文献传递
网络资源链接
一种RF谐振压力传感器
本发明公开了一种RF谐振压力传感器,包括敏感RF谐振器、RF谐振器和共面波导端口,敏感RF谐振器和RF谐振器形成对称弱耦合结构。本发明采用了对称弱耦合状态的RF谐振器,基于模态局域化原理,其谐振信号幅值将随施加的压力剧烈...
姜理利
黄晓东
王立峰
一种RF谐振压力传感器
本发明公开了一种RF谐振压力传感器,包括敏感RF谐振器、RF谐振器和共面波导端口,敏感RF谐振器和RF谐振器形成对称弱耦合结构。本发明采用了对称弱耦合状态的RF谐振器,基于模态局域化原理,其谐振信号幅值将随施加的压力剧烈...
姜理利
黄晓东
王立峰
文献传递
多晶硅微悬臂梁断裂的可靠性预测模型
被引量:4
2005年
分析了多晶硅微悬臂梁断裂失效机理,利用威布尔分布理论建立了多晶硅微悬臂梁在轴向拉抻和垂直两种受力方式下的断裂可靠性预测模型,模型考虑了由于实际加工工艺所带来的残余应力因素,模型所得的预测曲线与实验数据比较吻合。
姜理利
唐洁影
关键词:
电子技术
MEMS
微悬臂梁
威布尔分布
自矫正的RF MEMS开关可靠性测试系统及方法
本发明涉及一种自矫正的RF MEMS开关可靠性测试系统,包括信号输入模块、用于可靠性测试实验的RF MEMS开关、信号监测模块、信号采集反馈模块。其中,信号输入模块一方面提供驱动波形控制可靠性测试实验RF MEMS开关的...
姜理利
马宁
王立峰
黄晓东
表面微加工悬臂梁断裂失效可靠度预测
MEMS的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的一个关键问题。多晶硅微悬臂梁是MEMS中的一个基本结构,阐述了多晶硅微悬臂梁的断裂失效机理。利用宏观机械理论中的应力一强度干涉理论对表面微加工的多晶硅微悬臂梁的断裂可靠性进...
姜理利
唐洁影
关键词:
MEMS
微悬臂梁
可靠度
文献传递
多晶硅微悬臂梁断裂失效的可靠性模型建立
随着人们对MEMS产品的深入研究和开发,越来越多的MEMS产品即将走进日常生活中,而可靠性问题作为MEMS产品商品化过程中的必然要求,引起了越来越多的重视和研究兴趣。但研究MEMS器件可靠性的理论并不多,所以有必要从理论...
姜理利
关键词:
MEMS
微悬臂梁
可靠性
文献传递
表面微加工悬臂梁断裂失效可靠度预测
被引量:1
2005年
MEMS的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的乙的一个基本结构,阐述了多晶硅微悬臂梁的断裂失效机理.利用宏观机械理论中的应力-强度干涉理论对表面微加工的多晶硅微悬臂梁的断裂可靠性进行预测,建立了在均匀的表面载荷下的断裂可靠度预测模型.
姜理利
唐洁影
关键词:
MEMS
微悬臂梁
可靠度
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