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黄晓东
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145
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H指数:6
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东南大学
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合作作者
黄见秋
东南大学电子科学与工程学院微电...
黄庆安
东南大学电子科学与工程学院微电...
张志强
东南大学
韩磊
东南大学电子科学与工程学院微电...
张鹏飞
东南大学
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一种实现可靠性测试及阻值偏差补偿的压阻式传感器
本发明公开了一种实现可靠性测试及阻值偏差补偿的压阻式传感器,包括压力敏感薄膜、压敏电阻、隧穿层,电荷存储层设置在隧穿层的上表面,并位于压敏电阻的上方,且部分覆盖压敏电阻;阻挡层完全覆盖隧穿层和电荷存储层的上表面;压阻电极...
黄晓东
张鹏飞
王广猛
熊强
李宇翱
张志强
一种电容式硅微型麦克风及其制作方法
本发明提供了一种电容式硅微型麦克风及其制作方法。一种电容式硅微型麦克风,包括衬底、背板以及支撑结构,所述衬底上设有隧穿层,所述隧穿层上设有介质层,所述介质层作为存储层,所述存储层上设有阻挡层;在所述衬底正中下方位置开设有...
黄晓东
黄见秋
蒋明霞
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一种微型全固态锂离子电池及其制备方法
本发明公开了一种微型全固态锂离子电池及制备方法,结构包括依次层叠设置的负极集流体、负极层、固态电解质层、正极层、正极集流体层;还包括包裹整体层叠结构的钝化层,在钝化层外侧还包裹柔性防水保护层;还包括从外侧连通到正极集流体...
黄晓东
贾斌
张鹏飞
岳钒
张志强
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一种静电式振动能量收集器及其制作方法
本发明公开了一种静电式振动能量收集器及其制作方法,采用在电荷陷阱型非易失性存储器结构(10)上表面通过支撑结构(21)设置盖板(22)构成腔体,在腔体内设置有可动金属电极(23),可动金属电极(23)能够在电荷陷阱型非易...
黄晓东
黄见秋
蒋明霞
文献传递
一种MEMS微型固态锂离子电池及其制备方法
本发明公开了一种MEMS微型固态锂离子电池及其制备方法。通过将锂电池整理设置为MEMS悬臂梁结构,硅负极层在电池充放电时的体积变化引起MEMS悬臂梁结构发生弯曲变形,有效释放和减小了由于硅体积变化在硅负极层内所引起的应力...
黄晓东
甘兴锋
黄见秋
黄庆安
文献传递
一种单片集成压力传感器、制备及封装方法
本发明的目的是提出一种单片集成压力传感器、制备及封装方法,首先在SOI硅片上制备信号调理电路、压敏电阻、金属引线、第一压焊块以及第一密封环;然后在一块玻璃基片上进行刻蚀腔体、通孔以及导电金属填充,制备第二压焊块、金属触点...
张志强
郝小艺
黄晓东
额定电流可调且可监测的过流保护器及制备方法
本发明公开了一种额定电流可调且可监测的过流保护器及制备方法,过流保护器包括第一衬底;第二衬底;在第一衬底上形成开放腔、悬臂梁、第一绝缘层和第二绝缘层;第一电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上,且位于悬臂梁的固定...
黄晓东
张志强
张鹏飞
郑从兵
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一种MEMS压力传感器及其制备方法
本发明公开了一种MEMS压力传感器,包括体硅层、埋氧层、衬底、压敏电阻、第一钝化层、电极层、第二钝化层。压敏电阻位于埋氧层上表面,第一钝化层为位于埋氧层上表面的长方体壳体,长方体壳体的顶部中央设有通孔,第一钝化层盖合在压...
黄晓东
张鹏飞
张志强
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一种电感式MEMS湿度传感器及其制备方法
本发明公开了一种电感式MEMS湿度传感器及其制备方法,通过在两块衬底上制备凹槽以及各自的电感线层后,将两块衬底组合后使其凹槽形成空腔,使各自的电感线以跨接方式连接形成螺旋电感,并在螺旋电感上方设置方形膜和感湿层。感湿层在...
黄晓东
黄见秋
黄庆安
一种压电-电磁复合式振动能量收集器及其制备方法
本发明提供了一种压电‑电磁复合式振动能量收集器及其制备方法,该能量收集器包括相互堆叠的衬底和背板;所述衬底经刻蚀形成悬臂梁结构,其中,所述衬底的下表面形成有凹槽、所述凹槽上方为悬臂梁结构,所述凹槽和所述背板形成腔体,所述...
黄晓东
石晶晶
黄见秋
黄庆安
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