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何福顺

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：北京航空航天大学机械工程及自动化学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子
  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体浸没...
  • 1篇数值模拟
  • 1篇离子注入
  • 1篇辉光
  • 1篇辉光放电
  • 1篇值模拟

机构

  • 1篇北京航空航天...

作者

  • 1篇顿丹丹
  • 1篇李刘合
  • 1篇陶婵偲
  • 1篇何福顺
  • 1篇李芬

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
增强辉光放电等离子体离子注入的三维PIC/MC模拟被引量：1
2012年
采用三维粒子模拟/蒙特卡洛模型自洽地模拟了增强辉光放电等离子体离子注入过程中离子产生和注入,获得了放电空间的离子总数、电势分布、等离子体密度分布和离子入射剂量等信息.模拟结果表明,5μs时鞘层达到稳定扩展,15μs时离子的产生与注入达到平衡,证实了增强辉光放电等离子体离子注入能在一定条件下实现自持的辉光放电.注入过程中,在点状阳极正下方存在一个高密度的等离子体区域,证实了电子聚焦效应.除靶台边缘外,离子的注入速率稳定且入射剂量均匀.脉冲负偏压提高时注入速率增加但入射剂量的均匀性变差.
何福顺李刘合李芬顿丹丹陶婵偲
关键词：等离子体浸没离子注入数值模拟
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共1页<1>
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