于杰
- 作品数：71 被引量：25H指数：3
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项应用光学国家重点实验室开放基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信理学更多>>
- 一种基于光学系统失调量解算的光机结构稳定性评估方法
- 一种基于光学系统失调量解算的光机结构稳定性评估方法属于光学系统集成领域，该方法是根据初始时刻和待评估时刻光学系统的波面偏差解算系统失调量，根据系统失调量调整相应补偿器，将调整后系统与初始时刻的系统波面偏差作为是否完成稳定...
- 谢耀王丽萍金春水于杰王辉周烽郭本银王君
- 文献传递
- 极小孔径衍射波前测试分析被引量：2
- 2014年
- 研制点衍射干涉仪时,小孔的形貌和装调误差会对衍射波前质量产生影响,故本文研究了采用相位复原对小孔衍射波前质量进行测评的方法。设计并搭建了衍射波前测试装置,对光纤衍射波前进行了测评实验。为了验证测试方法的有效性,分别对采集的衍射图像与重构的衍射图像,以及测试获得的振幅分布与理论计算获得的振幅分布进行了对比。结果显示。采集图像与重构图像之间的差异为0.32%,验证了采用相位复原技术进行衍射波前测试方法的有效性。同时,对干涉方法测量与相位复原结果进行了对比,二者差异仅为0.001 4λRMS。
- 邵晶马冬梅张海涛于杰周烽
- 关键词：光学检测点衍射干涉仪
- 基于光学设计软件的相移点衍射干涉仪建模
- 点衍射干涉仪的参考光是由针孔衍射而得到的。与传统FIZEAU或Twyman-Green干涉仪相比,它摆脱了参考面精度的限制,理论上能够达到极高的检测精度,可以应用于极紫外光刻(EUVL)光学元件和系统的检测中。点衍射干涉...
- 张海涛于杰王辉
- 文献传递
- 一种基于误差补偿的移相干涉信息处理方法
- 本发明涉及一种基于误差补偿的移相干涉信息处理方法，属于光学检测和数字信息处理技术领域；本发明基于移相激光干涉检测随机误差源对移相干涉测量的敏感方程，通过在最小二乘方法中添加待定的权重获取约束方程组，通过解多组约束方程组确...
- 于杰张海涛马冬梅
- 文献传递
- 一种移相干涉检测振动抑制方法
- 一种移相干涉检测振动抑制方法，属于光学检测领域，为了提高干涉检测的重复性、复现性和精度，该方法为：步骤1，利用移相干涉仪采集一组N幅移相干涉图，N大于等于3，采用N步移相相位提取算法计算相位分布Ф<Sub>1</Sub>...
- 于杰张海涛马冬梅金春水
- 文献传递
- 一种光学检测平台及光学检测方法
- 本发明涉及光学检测技术领域，特别涉及一种光学检测平台，包括第一平台、第二平台、固定装置、升降模块；所述第一平台，用于放置被检光学元件或干涉装置；所述第二平台，用于放置干涉装置或光学元件，所述第二平台中心位置设置有通孔；所...
- 金春水马冬梅于杰周烽张海涛
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- 一种反射镜支撑调整装置
- 一种反射镜支撑调整装置属于反射镜面形检测技术领域，目的在于解决现有技术存在的功能单一和价格昂贵的问题，本发明的一种反射镜支撑调整装置包括转动轴承、滑动台、立板和底板；两个所述立板垂直固定在底板相对的两个边上，两个立板内侧...
- 张文龙于杰张海涛王辉苗亮刘钰马冬梅金春水
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- 一种离轴非球面元件的面形误差的测量方法
- 本发明实施例公开了一种离轴非球面元件的面形误差的测量方法，该方法先利用测量系统，在N个等分角度下测量所述离轴非球面元件和测量系统组成的整体的面形误差，得到N个第一测量结果；再将所述N个第一测量结果分别逆时针旋转该第一测量...
- 刘钰于杰张海涛王丽萍谢耀
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- 一种能够提高光纤点衍射干涉仪检测范围的波面参考源
- 本发明涉及一种能够提高光纤点衍射干涉仪检测范围的波面参考源，其有以下部分组成：光纤，XY位移台，准直镜头，双层密度盘，五棱镜，光电探测器，聚焦物镜，微孔反射镜。在进行光学检测时，光纤衍射球面波经准直、聚焦再经微孔衍射为较...
- 金春水代晓珂于杰
- 文献传递
- 球面波前测试干涉仪高度传递函数测试装置及其测试方法
- 球面波前测试干涉仪高度传递函数测试装置及其测试方法，属于光学测试领域，为解决现有技术无法对球面测试时干涉仪传递函数的测试问题，该测试装置及方法：安装干涉仪球面测试基准镜头在干涉仪主机上；打开移相式干涉仪主机和配套计算机电...
- 马冬梅张海涛孙鸽于杰
- 文献传递
