陈胜斌
- 作品数：4 被引量：5H指数：1
- 供职机构：华中科技大学图像识别与人工智能研究所更多>>
- 发文基金：湖北省自然科学基金国防科技重点实验室基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 采用单步光刻和湿法腐蚀工艺制作高性能衍射微透镜被引量：1
- 2007年
- 采用单步光刻和湿法腐蚀工艺,低成本快速制作面向高性能蓝光和红光DVD光学头物镜的衍射微透镜.所制微光学结构的表面粗糙度在纳米量级,衍射相位台阶的高度在亚微米量级并可以根据需求灵活调整,通光孔径在毫米至厘米量级的范围内可调.组成衍射微透镜的大量基本相位结构,可以根据入射和出射光束的形貌特征及参数指标,通过衍射积分算法灵活设置和排布.远场光学测试显示了所制衍射微透镜的高衍射效能.
- 张新宇陈胜斌季安谢长生
- 基于硅各向异性腐蚀的非球面微光学元件的制作被引量：4
- 2007年
- 讨论了一种制作非球面微光学元件的新方法。此方法的关键步骤是将(100)硅在KOH∶H2O中的两步各向异性腐蚀。首先在硅衬底的掩模上开一组圆孔,圆孔的尺寸与最终的轮廓相对应。通过在硅衬底上腐蚀出一组凹球面状的微结构,一定的轮廓可以由一组这样的凹球面拼接而成。用这种方法可以简单高效地制作出很多用常规工艺难以加工的非球面、不规则的微光学元件。建立了描述此方法的模型,并进行了讨论分析。
- 陈胜斌李纪赛张新宇
- 关键词：微光学元件非球面
- 基于衍射光学效应的多谱图像生成与频谱分离
- 本文主要研究了衍射光学元件的设计及其单步光刻和湿法制作方法，设计了若干能生成图像、实现频谱分离以及获得用于DVD系统的极小聚焦光斑的衍射光学结构，完成了若干元件的工艺和光学实验。所完成的主要工作如下：
(1)完成了...
- 陈胜斌
- 关键词：衍射光学元件优化算法湿法腐蚀
- 文献传递
- 采用标准微电子工艺制作具有各种轮廓特征的光学微结构
- 2007年
- 讨论了一种制作球面和非球面轮廓光学微结构的新方法。此方法的关键步骤是(100)硅在KOH∶H2O中的两步各向异性腐蚀。首先在硅衬底的掩膜上要开一组圆孔,圆孔的尺寸与最终的轮廓相对应。通过腐蚀,硅衬底上会出现一组凹球面状的微结构,具有一定轮廓特征的微结构可以由一组这样的凹球面微结构拼接而成。用这个方法可以简单高效地制作出很多用常规工艺难以加工的非球面、不规则的光学微结构。建立了描述此方法的模型,并进行了讨论分析。
- 李纪赛陈胜斌张新宇
- 关键词：非球面
